玉崎科学仪器原装现货EBARA 荏原 EV‑PA500 干式罗茨真空泵

EV‑PA500：小型轻量化风冷无油干泵，单相宽电压 100‑230V，多级非接触罗茨结构；定位实验室、小型设备前级泵，SEMI‑S2 合规，不需要冷却水。

型号释义

• EV：EBARA Dry Pump 荏原干式泵系列
• PA：Compact Air‑cooled 紧凑型风冷便携机型
• 500：标称抽速 500 L/min

核心规格参数

主要特点

1. 整机无油、非接触转子，无碳氢返油，洁净真空，适合半导体、光学腔体前级；转子无接触磨损，密封件免更换，长寿命EBARA CORP...。
2. 单相宽电压，国内 220V 直接使用，不需要三相电；体积小重量轻，台式摆放，实验室友好。
3. 性能 50/60Hz 不受影响，24h 连续运行。
4. 自带气镇阀，可处理少量水汽；不适合强腐蚀工艺气体，可选氮气吹扫选配。
5. 支持上位机 RS485 监控：运行状态、故障报警；可接入设备 PLC。

典型应用

• 半导体：小型 Load‑lock、晶圆检测台、等离子清洗、小型 PVD 镀膜分子泵前级泵
• 科研真空腔体、SEM 电镜配套、检漏仪前级、真空脱泡、真空干燥

定位：前级粗抽泵，不能直接获得高真空，必须搭配分子泵使用。