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EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵玉崎科学仪器原装现货

发布时间:2026/08/18 12:00:45 发布厂商:玉崎科学仪器(深圳)有限公司 >> 进入该公司展台

EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵玉崎科学仪器原装现货

EV‑PA250:单相宽电压 100‑230V,无油风冷干泵,EV‑PA 系列*小机型;定位小腔体、实验室、仪器配套前级泵;无需冷却水,可直接普通 220V 市电使用


核心规格参数


项目 EV‑PA250
泵类型 多级非接触罗茨干式无油真空泵
抽速 230 L/min;气镇开启 200 L/min
极限真空 0.5 Pa(气镇 OFF);2.0 Pa(气镇 ON)
*水蒸气处理量 约 120 g/h(气镇开启)
进气接口 NW25 KF 快装
排气接口 NW25 KF 快装
冷却方式 强制风冷,不用冷却水
供电 单相 AC100‑230V,50/60Hz,电压允许 ±10%
电源容量 0.45 kVA
极限真空运行功率 0.24 kW;峰值 0.38 kW
噪音 55 dB (A)(1 米)
外形 W×D×H 189 × 412 × 272 mm
整机重量 16 kg,带便携提手
IO 通讯 面板状态灯;远程启停 / 报警输出;可选 RS485 通讯模块
标配 内置气镇阀、进气过滤器
CE、SEMI‑S2、NRTL











核心特点

  1. 完全无油、非接触转子,无碳氢返油,洁净真空;转子无接触磨损,密封件免更换,长 MTBF 寿命。

  2. 风冷免水,无需水冷管路,无尘室、台式摆放,无漏水风险。

  3. 宽电压单相,国内 220V 直接使用,不需要三相供电;体积小巧轻便,可移位。

  4. 自带气镇阀,处理少量水汽;不适合强腐蚀工艺气体,可选氮气吹扫套件。

  5. 支持 PLC 远程启停、故障报警;RS485 为选配件。

定位:前级粗抽泵,不能直接获得高真空,需要搭配分子泵。

典型应用

  • 半导体:小型 Load‑lock、晶圆检测台、微型腔体前级泵

  • 科研:SEM、质谱、检漏仪配套、小型真空腔体、真空脱泡、样品干燥

  • 仪器 OEM 配套,间歇抽真空工况


供货采购渠道

玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学



EBARA 荏原
EV‑PA250
小型风冷干式罗茨真空泵
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