EV‑A10‑3S：三相 AC200‑240V，五级罗茨风冷干式无油真空泵；同本体单相版本 EV‑A10‑2S。泵本体、抽速、真空、接口完全一致；仅电机供电规格不同；半导体 Load‑lock、镀膜、科研腔体预抽，风冷免冷却水。
EV‑A10：泵本体型号，5 级非接触罗茨干式泵
3S = 3‑Phase 三相 AC200‑240V 50/60Hz
2S = 单相 AC200‑240V
| 项目 | EV‑A10‑3S |
|---|---|
| 泵结构 | 五级非接触罗茨干式真空泵，完全无油 |
| *抽速 | 1000 L/min（60 m³/h） |
| 大气压抽速 | 800 L/min |
| 极限真空（气镇 OFF） | 1.0 Pa |
| 极限真空（气镇 ON） | 2.0‑3.0 Pa荏原製作所 |
| *水蒸气处理量 | 500 g/h（气镇开启） |
| 进气接口 | NW40(KF40) |
| 排气接口 | NW25(KF25) |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需冷却水 |
| 供电规格 | 三相 AC200‑240V，50/60Hz，电压允许 ±10% |
| 电源容量 | 3.0 kVA |
| 极限真空运行功率 | 1.1 kW |
| 噪音 | ≤58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344 mm |
| 整机重量 | 75 kg |
| 标配 | 带锁脚轮 + 调平底座、内置气镇阀、进气过滤器；远程 I/O 报警、启停信号 |
| 合规 | CE、SEMI‑S2、NRTL |
| 项目 | EV‑A10‑3S（三相） | EV‑A10‑2S（单相） |
|---|---|---|
| 泵本体、性能、接口、真空 | 相同 | 相同 |
| 供电 | 三相 200‑240V | 单相 200‑240V |
| 适用场景 | 工厂产线、设备端具备三相供电，长时间连续运行，电网更稳定 | 实验室、设备只有单相 220V 供电 |
三相 3S 版本工业产线更常用，长时间连续运行电流更平稳；单相 2S 多用于实验室小设备。
五级非接触罗茨转子，泵腔与齿轮润滑腔隔离；无油，无返油污染，适合洁净腔体、Load‑lock 预抽、分子泵前级泵。
风冷结构，不用冷却水，无漏水风险，无尘车间直接摆放。
自带可开关气镇阀，处理水汽、少量溶剂蒸汽；不直接处理强腐蚀工艺气体，可选氮气吹扫选配套件。
具备 PLC 远程 I/O 接口：运行、故障报警、远程启停，方便集成设备控制系统。
消耗件少：仅进气过滤器定期更换；齿轮油 20000 小时更换，转子非接触几乎无磨损。
仅作为前级粗抽泵，极限 1Pa，不能直接实现高真空；需搭配分子泵获得高真空。
耐蚀氮气吹扫套件：轻微腐蚀性工艺气体
排气消音器、油雾捕集器
进气粉尘过滤器
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