空气热®

AEROHEAT® 是一款基于我们 MI 电缆制造技术开发的长寿命加热器，适用于真空环境。

电热板安装示例

带有陶瓷气密端子的加热器示例

带非加热元件的微型加热器

特征

• 通过组合多个如图所示的面板加热器，即使对于过 8G 的大型玻璃基板，也可以实现的温度控制。
• 半导体制造设备中使用的加热板具有加热速度快、温度分布均匀的优点。
• 通过使用陶瓷气密封装端子，可以在真空中实现电源连接。