产品概述

R‑N16、VR‑N16 为机械式真空泄压安全阀，用于真空腔体过压安全防护，腔体内部压力过设定阈值时自动开启泄压，保护真空规、腔体密封件、腔内工件免受瞬时正压冲击损伤。

• R‑N16：纯机械泄压阀，只具备压泄放功能，无气动破空通气回路。

• VR‑N16：泄压 + 气动破空二合一，集成单作用气动通气机构，既可以电控实现腔体破真空，压时自动泄压保护，减少管路接头，降低漏点数量。 阀体采用 NW16 (KF16) 快拆法兰，旁路侧装，可直接加装在真空规支管、腔体侧口，新旧设备改造便捷，低放尘，适配小型真空设备。

型号区分

1. R‑N16：单纯机械式泄压安全阀，无进气接口

2. VR‑N16：泄压安全阀 + 气动真空破坏阀一体；带 M5 气源接口、Rc1/8 工艺气体进气口

核心参数

• 连接法兰：NW16（KF16）快拆法兰

• 泄压开启压力可调：0.115～0.170 MPa（*压力），旋钮手动调节设定

• 泄压排放口：Rc1/8 内螺纹

• 压力使用范围：0.2 MPa～10⁻⁵ Pa（*压力）

• 泄漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s

• 接液材质：铝合金，密封件 FKM 氟橡胶

• 使用温度：≤70℃

• VR‑N16 气动部分：单作用常闭气缸，驱动气源 0.4‑0.6 MPa，气源接口 M5，进气口 Rc1/8

• 重量：R‑N16 约 0.3 kg；VR‑N16 约 0.4 kg

产品优势

1. 弹簧机械式自动泄压，无需供电，发生过压故障自动开启，保障设备与人身安全。 2. 开启压力现场旋钮可调，适配不同腔体安全保护阈值。 3.NW16 标准法兰，旁路支管安装，不用改动主真空管路，改造简单。 4. 洁净装配，低放气，适合镀膜、半导体、实验室真空腔体。 5.VR‑N16 二合一集成设计，同时实现破真空 + 过压保护，减少管路接头，降低泄漏风险。 6. 体积小巧，占用设备空间小。

使用注意事项

1. 该阀为安全保护旁路阀，不能作为主路流量调节阀门。 2. 腐蚀性气体工况，需要确认密封件材质兼容性，定期检查 O 型圈老化。 3. 泄压出口 Rc1/8 建议接管引出，避免泄压气体直接喷溅设备内部。 4.VR‑N16 气动部分必须接入 0.4‑0.6 MPa 洁净压缩气源。 5. 大腔体缓破空流程，建议搭配 IV‑N25 / IP‑N25 缓破空阀一起使用；精密开度调节选用 GAZ/BAZ 系列阀门。

应用场景

光学镀膜设备腔体、磁控溅射小型腔体、氦检测试工装、高校实验室真空炉、电子元器件真空封装设备、小型锂电真空除气腔体，用于腔体通气阶段过压保护，保护真空规、基板工件、密封组件。