二、核心产品特征

1. 100 档数字*分段定位全行程 00~99 档位数字显示设定，每一档对应固定开度，重复性好，可稳定实现梯度泄压、载气*配比、变流导排气控制。

2. 双模式操作：本地手动 + 远程 I/O 自动

• 本地：面板 OPEN/MOVE/CLOSE 按键、双旋钮快速设定目标开度；4 路状态 LED（READY 就绪 / MOVE 运行 / OPEN 全开 / CLOSE 全关）实时反馈阀位状态；

• 远程：外接 PLC 上位机 I/O 信号，自动化产线时序联动控制。

1. 断电电磁抱闸锁位，工艺安全防护突发停电时内置电磁制动器锁死伺服电机轴，保持当前阀门开度，避免大腔体瞬间进气导致膜层起皮、电解液喷溅、工件报废。

2. 低功耗小型桌面一体化机身整机仅 1kg，尺寸紧凑，无需额外控制柜，直接放置设备操作台；直流 DC24V 供电，*功耗 95W，适配真空设备标准电控电源。

3. 配套调试软件支持 MEXE02 参数重写，可自定义开度速度、限位、报警阈值，适配不同腔体容积、工艺压力需求。

4. 配套阀体洁净高真空适配仅匹配美幸辉 BAZ 定点蝶阀 / GAZ 闸阀；阀体 SUS304 不锈钢、FKM 氟橡胶密封，低放气、低发尘，*适配 1×10⁻⁵Pa 高真空工况。

三、标准电气规格参数

表格

四、完整配套系统组合

1. 标准调压 / 缓破真空系统MS-PC 控制器 + BAZ 系列数字定点电动真空蝶阀（DN25/40/50/80/100）

   
   

2. 大口径闸阀节流系统MS-PC 控制器 + GAZ 系列电动真空闸阀（JIS/CF 法兰大口径）

五、主流应用场景

1. 光学 / 卷绕真空镀膜大腔体阶梯缓破真空，防止膜层针孔、起皮；工艺载气分段配比稳压，保证镀膜均匀性。

2. 锂电池量产设备电芯真空注液、大容量浆料脱泡腔体梯度泄压，避免电解液喷溅损耗；烘烤腔体负压分段调节。

3. 半导体 / 等离子制程等离子清洗、小型晶圆沉积腔体工艺气体流量*分段控制，低发尘洁净结构适配无尘车间。

4. 真空热处理 / 钎焊炉退火、烧结炉排气变流导调节，稳定炉内真空度，改善工件热处理一致性。

5. 实验室真空腔体、氦检漏台多档位升压、负压工艺调试，高精度密封检测腔体稳压控制。

六、安装与使用规范

1. 硬性配套要求不可单独使用，必须搭配美幸辉 BAZ/GAZ 系列伺服定点阀门，普通 BAR 伺服阀无法匹配 MS-PC 档位控制逻辑。

2. 操作流程

• 手动模式：电源上电→READY 灯亮，旋转 LEVEL 旋钮设定目标档位，按下 MOVE 阀门自动走到设定开度；OPEN/CLOSE 一键全开全关；

• 远程自动模式：PLC 输出开度档位信号，阀门跟随上位机指令自动定位，同步反馈阀位状态给主机。

1. 维护周期常规洁净工况每 6000 小时检查电机线缆接头；含水汽 / 溶剂工况每 3000 小时清理阀体密封圈、校准开度原点。

七、选型区分（同 MS-VP 模拟量控制器对比）

1. MS-PC：数字 00~99 档位定点控制，开关量 I/O 通讯，适合需要固定分段阶梯工艺（缓破真空、梯度泄压）；

2. MS-VP：0~10V/4~20mA 模拟量连续线性调节，适合高精度闭环恒压控制，无档位限制。