用于工艺气体

• 这是世界上*使用短不锈钢纤维的金属膜过滤器。

• 实现高颗粒去除性能和低压力损失。

• 适用于100SLM以下的流量，可用于各种工艺气体。

用于工艺气体管线的小流量过滤器 (186KB)

适用于散装气体

• 褶皱过滤介质形状即使在高流量下也能实现较低的压力损失。

• 由于是全金属，因此可以进行高温烘烤。

• 兼容高达3000Nm 3 /hr的大流量。

用于散装气体管线的大流量过滤器 (178KB)

用于设备保护

• 用于保护MFC、阀门、调节器等设备的过滤器

• 您可以根据使用条件选择低压型或高压型。

• 可与现有管道一起安装。

管式高压兼容精密过滤器 (199KB)

低压用盘式精密过滤器 (182KB)

适用于IGS面板

• 与集成气体面板过滤器、1.125W-Seal、1.125C-Seal 和 1.5W-Seal 兼容。

• 通过使用褶皱介质实现小型化。

• 通过使用机械密封，介质部分无需焊接。

用于集成燃气面板的 IGS 过滤器 (202KB)

用于扩散器

• 通过使用褶皱介质可以实现高速排气。

• 防止颗粒缠绕并有助于提高产品产量。

• 可根据安装空间进行设计。