日本KAIJO晶圆级凸块键合机FB-x26凹凸2
FB-x26凹凸2支持*大 8 英寸的晶圆晶圆由手工提供(单独使用时)升级的可追溯性和自我诊断可与晶圆进料 WHS-996 结合使用进行自动输送主要规格粘接性能粘接精度(不包括自学精度)±3.0微米(3σ)粘接范围*大 200 mm(8 英寸)(手动安装规格) 自动传输规格的晶圆外周长出键合范围 2.5 mm 示例)8 英寸:周长直径为 195 mm 是粘合范围生产力粘合时间30毫秒/碰撞(药丸切割模式)40毫秒/碰撞(固定切割模式)兼容的运输系统晶圆尺寸高达 8 英寸输送方式半自动运输(手动运输)*可与WHS-996结合使用进行全自动运输其他外部尺寸FB-x26凹凸2 : 宽930×深1,240×高1,728mmWHS-996 : 宽680×深1,190.5×高1,424重量FB-x26颠簸2:520公斤 WHS-996:300公斤
支持*大 8 英寸的晶圆
晶圆由手工提供(单独使用时)
升级的可追溯性和自我诊断
可与晶圆进料 WHS-996 结合使用进行自动输送
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日本KAIJO晶圆级凸块键合机FB-x26凹凸2
FB-x26凹凸2
支持*大 8 英寸的晶圆
晶圆由手工提供(单独使用时)
升级的可追溯性和自我诊断
可与晶圆进料 WHS-996 结合使用进行自动输送
主要规格
)
8 英寸:周长直径为 195 mm 是粘合范围
*可与WHS-996结合使用进行全自动运输
WHS-996 : 宽680×深1,190.5×高1,424