现货！FLUORO福乐C002-D-Y-161真空吸笔技术解析常开防静电半导体晶圆芯片取放

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-D-Y-161 常开防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中配备D型大流量阀体与161mm加长杆的规格，采用NO常开型阀门，笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，吸嘴采用导电PEEK材质，面向半导体晶圆搬运、芯片封装、探针台测试等对静电防护有严苛要求的干式无尘场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及标配吸嘴，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的*

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C002-D-Y-161：大流量阀体 + 加长杆配置

C002-D-Y-161是FLUORO C系列导电型真空吸笔中面向大尺寸晶圆及芯片搬运的实用规格。型号中“C002”代表C系列导电型笔身，采用NO常开型阀门；“D”代表标准直型本体，大流量阀体设计，吸力大于C001，适合面积偏大工件；“Y”代表固定式接头；“161”代表加长杆长161mm。该规格在半导体产线的晶圆搬运、芯片封装、探针台测试、光学元件取放等工位中应用广泛。

三、核心技术解析：常开阀体 + 防静电通路 + 加长杆设计

① NO常开阀体，接通真空即吸附。 C002-D-Y-161采用NO（Normally Open）常开型阀门。接通真空后即保持吸附状态，将吸笔头轻触晶圆背面即可自动吸附；放下晶片时只需按住吸笔上端的按钮，即可切断真空释放工件。这一操作逻辑适合需要快速取放、连续搬运的半导体产线，吸附与释放动作由操作人员主动控制，无需持续按压保持吸力，有效降低操作人员手部疲劳。

② 全域防静电防护，保障晶圆良率。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。C002-D-Y-161通过碳纤维增强导电尼龙笔身与导电PEEK吸嘴构成完整的静电泄放通路。笔身采用东丽碳纤维增强尼龙树脂（TORAYCA），具有优异的物理性能和导电性。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。该电阻率区间符合ESD管控标准，适配百级、千级无尘防静电车间使用。

③ D型大流量阀体，吸力优于C001基础款。 C002-D中的“D”代表大流量阀体设计。相比C001基础款，D型阀体在相同负压源条件下能够提供更大的吸附力，适合面积偏大的工件拾取，包括大尺寸晶圆、光学镜片、陶瓷薄片等。配合Y型固定式接头，管路直进直出，气密性更优，适合标准化垂直对位产线。

④ 161mm加长杆，深入腔体取放。 C002-D-Y-161配备161mm加长杆设计，可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的晶圆搬运。加长设计在保持轻量化笔身的同时，确保操作人员无需将手伸入设备深处即可完成取放，有效降低污染风险。

⑤ 导电PEEK吸嘴，镜面抛光不划伤。 吸附芯片采用PEEK树脂制成，具有优异的耐化学性、耐热性和韧性。经机械加工、热处理和镜面抛光后，即使长期使用也能保持稳定的性能。添加碳纳米管后，在低填料含量下即可实现高导电性。吸嘴为独立消耗件，老化磨损后仅需更换前端耗材，无需更换整支吸笔。

⑥ 阀体气密性稳定，高频使用不失效。 内部阀门采用氟树脂材质，并采用特殊的模压工艺包裹碳纤维，确保气密性不受影响。高频反复按压依旧气密稳定，不易漏气失效。

四、主要技术规格

五、C系列选型对比

C002相比C003缺少独立锁止开关，但操作逻辑更简洁直接，适合需要快速取放、连续搬运的工位；C001的NC常闭逻辑更适合需要*控制吸附时机的场景。

六、适用行业与场景

• 半导体制造：硅晶圆手动搬运，探针检测、划片、贴膜、解键合、封装转运

• 封装测试：芯片封装、探针台测试、射频陶瓷基板取放

• 化合物半导体：碳化硅、氮化镓晶片基板取放

• 光电行业：光学基板、滤光片、大尺寸光学元件搬运

• Mini-LED/面板：面板、薄型陶瓷基板手动拾取

• 无尘实验室：机台腔体内部样品操作、薄片易碎样品手动转移

七、现货库存信息

FLUORO福乐 C002-D-Y-161 常开防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及标配吸嘴，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（90/91/92/97/98/99-CP系列）、替换吸杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。

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