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日本原装DIC迪爱生PF-004D 表面活性剂用脱气模组
全日本DIC迪爱生 脱气模块
DIC迪爱生SEPAREL脱气模块,采用致密皮层中空纤维膜技术,实现液体脱气与气体溶解双向工艺,模组只透过气体、阻隔液体,可将液相溶解氧、二氧化碳降至ppb级别,消除管路微气泡,适配电子、制药、喷墨、新能源等多行业流体处理场景,支持设备内嵌集成与产线连续运行。

DIC的空心纤维膜能够将气体降至ppb水平。 此外,使用带皮层的空心纱线可以降低凝结水的产生量。 此外,DIC的空心纤维膜模块SEPAREL也适用于气体溶解(空气供应)。
工作原理
模块内部装填大量中空纤维膜丝,分为内灌流、外灌流两种结构。内灌流 PF 系列,液体从膜丝内部流过,膜外侧接通真空,液体内溶解的氧气、二氧化碳穿过膜丝被抽出完成脱气;外侧通入工艺气体,气体反向渗透溶入液体,制备溶氮、溶氢功能工艺水。EF 外灌流系列液体流经膜丝外部,真空或工艺气体走膜丝内腔,流道通畅、压力损失更低。膜表面致密皮层,可减少水蒸气渗透,降低真空回路冷凝水问题,部分型号可耐受含表面活性剂的药液工况。
主流系列
PF‑D 系列(聚烯烃PMP,纯水弱药液)代表型号PF‑001D、PF‑004D、PF‑028D,接液部件为工程塑料,适配纯水、DI水、弱酸碱清洗液。采用内灌流结构,支持反向冲洗,规格覆盖微型到大流量,多用于半导体纯水支路、超声波清洗、实验室水路、功能水制备,不可用于有机溶剂与强腐蚀药剂。
PF‑F 系列(PTFE 全氟树脂耐溶剂型)代表型号PF‑03F、PF‑10F、PF‑28F,全部接液部位采用PTFE氟树脂,耐受强酸、强碱、IPA、NMP等有机溶剂,金属析出低,适配半导体光刻药液、剥离液、显影液脱气,同样支持脱气、溶气与反向清洗维护。
EF 系列(外灌流型)代表型号EF‑G5‑B15、EF‑AG3X,液体流经膜丝外侧,压力损失小,搭载SS致密皮层膜,可处理含表面活性剂墨水、清洗药剂。模组出厂完成性能检测,便于整机量产集成,该系列不支持反向冲洗,多用于喷墨设备、生化分析仪器流体预处理。
场景应用
半导体行业用于晶圆湿法清洗纯水脱氧,蚀刻液、显影液、各类光刻配套药液脱泡,调控纯水溶解二氧化碳。显示喷墨行业处理喷墨墨水、UV 墨水脱气,规避断墨现象,保障涂布成膜良率。新能源行业用于电池制程清洗纯水回路脱气,消除气泡对工艺的干扰。制药与生化仪器用于纯化水、试剂回路脱气,保障分析计量精度。通用工业可用于锅炉给水脱氧,制备溶氢、溶氮等功能工艺用水。

