全新到货Otsuka大塚FE-5700 膜厚测量系统

日本大塚电子（OTSUKA Electronics）全行业用途

大塚电子核心依托MCPD 多通道分光光谱、显微分光膜厚测量、动态光散射纳米粒径 / Zeta 电位检测三大核心技术，主营显微分光膜厚仪、在线嵌入式膜厚检测系统、分光测色亮度设备、ELSZ 纳米粒度电位分析仪、三维光场显微镜，实现非接触、非破坏、微区高速光学检测，覆盖半导体、平板显示、AR/VR 光学、新能源锂电光伏、车载光学照明、光通信光学元件、新材料纳米化工、生物医药食品化妆品、印刷包装、科研实验室等行业。

半导体与第三代半导体行业（核心主力应用）

适配 6/8/12 英寸晶圆无尘、真空全制程，OPTM、FE、SMART 系列膜厚仪*小 3μm 微区测量，1 秒单点检测，可测 1nm~92μm 多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k大冢电子。前道工序监控硅片氧化膜、氮化膜、光刻胶、抗反射层、CMP 研磨膜层厚度；SiC、GaN、GaAs 宽禁带化合物半导体外延层、钝化膜*质控；晶圆缺陷点位微小区域膜厚扫描、布线金属薄层检测；可集成真空腔体嵌入式在线监测溅射、蒸镀成膜厚度；配套 ELSZ 系列检测 CMP 研磨液、光刻胶剥离液纳米颗粒粒径与分散稳定性，分析晶圆表面杂质胶体吸附行为，全程无损伤不污染晶圆，适配芯片研发、量产在线全流程检测。

平板显示 LCD/OLED/Mini/Micro LED 行业

拥有二十年显示行业成熟检测方案，分光系统适配玻璃基板全制程光学与膜厚检测。TFT 液晶彩色滤光片穿透光谱、色坐标、色差检测；OLED 有机发光层、封装阻隔膜、ITO 透明导电层膜厚测量；偏光片、相位差膜、TAC 光学薄膜相位差、透过率、反射率批量检测；Mini LED 背光微透镜涂层、防指纹硬化膜、AR 减反膜在线卷对卷监测；曲面屏、柔性 PI 基板多层涂布膜均匀度扫描；产线搭载多通道分光系统实现高速连续在线检测，管控面板色彩不均、膜层厚薄不均，提升显示对比度与良品率。

AR/VR/MR 光学模组行业

Pancake 折叠光路模组偏光片贴合角度、相位差、盒厚高精度检测；LCoS 微显示芯片多层光学薄膜、彩色滤光片特性评价；VR 镜片 AR 镀膜、防蓝光涂层膜厚与反射光谱测量；光波导导光膜、耦合光栅薄层微区扫描；光学胶、遮光层微小区域分层厚度解析，用于 VR/AR 终端光学方案研发与出厂全检，解决画面色散、重影、透光率不足问题。

新能源锂电、光伏、钙钛矿行业

锂电领域：极片导电剂涂层、隔膜陶瓷涂层、固态电解质薄膜厚度检测；NMP 涂布液、浆料纳米粒径、Zeta 电位分析，评估浆料分散稳定性；真空注液隔离膜、封装防护膜膜层质控；

光伏 / 钙钛矿：硅基电池减反膜、钝化层膜厚在线监测；钙钛矿电池 ETL、HTL、钙钛矿吸光层多层薄膜测量；卷对卷钙钛矿涂布产线嵌入式实时监控；燃料电池催化薄膜、碳纳米管浆料颗粒表征，辅助优化电池光电转换、充放电循环稳定性。

车载光学、照明与车灯行业

车载摄像头、激光雷达光学镜头 AR 镀膜、红外滤光片光谱与膜厚检测；ADAS 显示屏幕色度、亮度、对比度均匀度测试；LED、OLED 汽车大灯、日行灯光谱、色温、显色指数*分析；车窗隔热膜、隐私膜透光率、阻隔涂层厚度测量；车规硬化涂层、防污薄膜光学性能评价，满足高低温、振动车规严苛检测标准。

光通信、光学元件与精密光学行业

光纤耦合透镜、分光棱镜、干涉仪镜片多层光学薄膜膜厚、反射透射光谱检测；光学滤光片、窄带增透膜微区分层解析；激光谐振腔镜片、红外窗口涂层厚度质控；光学胶、粘合薄层微小区域测量；MCPD 分光系统搭建光路校准平台，用于无源光器件、高速光模块研发与量产质检。

新材料、纳米化工、高分子行业

ELSZ-neo 分析仪测试纳米粉体、碳纳米管、富勒烯、金属氧化物颗粒粒径分布、Zeta 电位，评估胶体分散稳定性；高分子薄膜、PET/PEN/PC 功能膜、离型膜、胶粘层膜厚测量；涂料、油墨、陶瓷浆料、抛光液微观颗粒表征；防腐涂层、硬质阳极氧化膜、光学硬化膜折射率与膜层均匀度分析；可完成溶液 pH 梯度下颗粒絮凝、表面改性效果定量评价，适配新材料配方研发、生产质控。

生物医药、医疗器械、化妆品行业

生物医药：药物递送纳米胶囊、脂质体粒径与表面电位检测；蛋白、生物胶体热变性温度分析；医用透析膜、无菌包装薄膜厚度、透光性检测；病理载玻片涂层微区测量；

化妆品：乳液、粉底、防晒乳纳米粉体分散性测试；护肤品功能性薄膜、面膜基材涂层膜厚质控；医美光学镜片、医用内窥镜镜头镀膜光学特性检测；设备低析出、洁净无金属污染，满足 GMP 洁净检测要求。

食品、包装、印刷行业

食品包装 PET、PP 功能性阻隔薄膜、保鲜涂层膜厚非接触检测；食品着色剂、饮料溶液光谱吸光度、浓度定量分析；印刷油墨纳米色粉粒径、分散稳定性测试；防伪光学膜、烫金薄膜反射光谱与涂层厚度测量；彩色印刷品色差、光泽度、透过率批量检测，管控包装透光、保鲜、印刷色彩一致性。

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