MIYUKI 美幸辉 G‑J350 气动伺服真空控制蝶阀气源驱动闭环玉崎科学原装可定制

2026/08/24 17:01:29

MIYUKI 美幸辉 G‑J350 气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

*：www.shashinkagaku.com

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号：G‑J350｜JIS DN350（350A）气动伺服真空蝶阀

G 系列气动伺服调节阀，纯气源驱动，无需伺服电机，0‑90° 全行程无级开度调节；大口径、高流导，专为半导体、显示面板大腔体主抽管路闭环稳压开发，解决大腔体大流量排气下的工艺压力*控制问题。

G系列气动伺服蝶阀

MGCS‑11控制器

可定制变更法兰：ISO‑F、CF 刀口法兰；密封件可选 Kalrez 全氟醚。

驱动形式：纯气动伺服机构（无电机）

依靠 0.4‑0.6MPa 洁净干燥压缩空气驱动，内置阀位反馈机构，输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器构成完整 PID 闭环控制系统，自动调节蝶板开度，稳定腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关

气源丢失时弹簧强制关闭阀门，阻断泵组与腔体，防止大气返流污染晶圆、面板基板，满足产线安全联锁要求。
薄大通导阀体

大口径优化流道，面间尺寸短，流导高，抽气阻力小，缩短大腔体抽本底时间；任意角度安装（水平 / 垂直均可）。
球面多点压紧双向密封

正向、反向压差条件下均可维持低泄漏；启闭过程减少摩擦，降低颗粒析出，适配半导体、面板洁净制程。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。

项目	G‑J350 JIS DN350 参数
公称通径	DN350（350A），JIS B2290 法兰
工作压力范围	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，He 检漏出厂
驱动气源	0.4‑0.6 MPa，无油干燥洁净压缩空气；弹簧复位失气关闭
开度调节	0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP，低放气低发尘
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 抗等离子腐蚀密封
烘烤温度	FKM 密封* 120℃；Kalrez 版本* 150℃
机械寿命	≥100 万次循环
电气选配	微动开关输出全关 / 全开信号；阀位反馈信号接入控制器
配套控制器	MGCS‑11（主力）、MG‑mini485

面板大尺寸 PVD 溅射腔体主抽调压

G8.5/G10.5 代线大型镀膜腔体，排气流量巨大；G‑J350 作为主抽节流阀，搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定溅射工艺压力，保障薄膜厚度均匀性，减少基板不良率。
半导体中试线大型腔体、溅射、CVD 设备

大口径工艺腔主排气压力调节；注意：*制程量产 Fab 颗粒严苛场景优先选用 GAR 电动闸板式伺服阀；G‑J350 更适合中试、面板、大型镀膜产线。
大型真空炉、锂电大型脱气腔体

大流量工况下闭环稳压，兼顾粗抽与高真空工艺段；失气自动关闭，保护腔体物料。

适用边界：G‑J350 为气动伺服，不需要电机布线；但无电动抱闸，断电后依靠弹簧全关，无法保持当前开度；如果工艺要求断电维持阀位，需要选用 GAR‑J350B 电动伺服带抱闸型号。

完整系统组成：G‑J350 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规

工作流程：真空规采集腔体实际压力 → MGCS‑11 进行 PID 运算 → 输出气控信号驱动 G‑J350 伺服机构改变蝶板开度 →动态补偿泵抽与进气波动，稳定工艺压力。

MGCS‑11 支持多组 PID 参数存储，不同工艺工序自动切换参数，RS485 通讯对接上位 PLC。

供货状态：G‑J350 属于大口径特种伺服阀，国内极少现货，一般为日本原厂订货交期；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书；支持密封件定制（Kalrez）。
选型区分
- 需要气源驱动、不要电机布线、大腔体大流量 → G‑J350（气动伺服）
- 需要断电保持开度、半导体*制程量产 → GAR‑J350B（电动伺服带抱闸）
注意：市场存在普通 B‑J350 开关蝶阀，无调节功能，不可混淆 G‑J350 伺服调节型号。

提示：市面存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。