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首页 >玉崎科学仪器(深圳)有限公司> 技术文章> MIYUKI 美幸辉BAR系列控制蝶阀玉崎科学仪器原装供应

MIYUKI 美幸辉BAR系列控制蝶阀玉崎科学仪器原装供应

2026/08/24 15:54:21

BAR系列控制蝶阀

BAR系列控制蝶阀

特征

  • 01. 结构简单的蝶阀。
  • 02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。
  • 03. 取消了金属滑动部件,从而减少了颗粒物的产生。
  • 04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
  • 05. 在小开口处实现压力稳定性。
  • 06. 由于电机直接驱动,因此没有反冲。

规格

口径 25A 至 250A
工作压力范围 10⁵ Pa 至10⁻⁵ Pa

内部密封件(阀门)泄漏
1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低

外部密封件(轴)泄漏量
1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
气体接触部件的材料 SUS304
阀门密封 氟橡胶O型圈
轴封 氟橡胶O型圈
耐热温度 主机:150℃
电机:40℃
停电期间阀门运行 停止(无保持力)

*BAR 也生产泄漏型,不具备阀门密封功能,尺寸从 25A 到 400A 不等。

*我们还可以生产防断电产品。


主要用途:
· 半导体制造:刻蚀、沉积、离子注入、外延、清洗设备的真空腔体隔离、压力闭环调节、
大流量快速排气
· 真空镀膜:光学/半导 PVD/CVD 镀膜线的抽气控制、工艺压力稳定、腔体通断
· 光伏锂电:硅片制绒、PECVD、锂电真空干燥、涂层检测的大口径真空管路控制
· 科研分析:高能物理、材料表征、质谱、电子显微镜的高真空系统气路控制
· 工业真空:真空炉、钎焊、检漏、氦回收系统的大流量、高精度压力调节


日本 MIYUKI 美幸辉采购供货渠道

玉崎科学仪器(深圳)有限公司 原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层玉崎科学
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