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首页 >玉崎半导体(深圳)有限公司> 技术文章> 现货 SONIC索尼克 WA-790 洁净室三维超声波风速计 0-10m/s高精度

现货 SONIC索尼克 WA-790 洁净室三维超声波风速计 0-10m/s高精度

2026/10/22 19:34:34

近期我司新推出升级了 SONIC索尼克 WA-790 洁净室三维超声波风速计,目前深圳仓库有原装现货库存。 在半导体晶圆厂、医药GMP无菌车间以及精密电子产线中,气流组织的均匀性直接决定了环境内微尘和浮游菌的排除效率。传统单点热线风速计在测量极低风速时(如0.1~0.5 m/s的层流),往往受限于探头热惯性或机械扰动,难以准确捕捉三维方向上的微小气流变化。WA-790 采用超声波时差法原理,在 0~10 m/s 的宽量程内提供高达 0.005 m/s 的分辨率,配合三维探头与气流可视化软件,将洁净室的微弱气流验证从“单点数值”提升到了“空间矢量图像”的维度。

一、高精度与无扰测量:0-10m/s量程内的超声波原理

WA-790 之所以能在洁净室微弱气流测量中保持高精度,核心在于其时分收发切换型超声波脉冲测量方式。

无机械部件的流场保真。 传统叶轮式或热线式探头在工作时,探头本身会改变局部气流走向,热线还会因持续加热产生微弱热对流,干扰真实流场。WA-790 的探头内部没有活动部件,通过测量超声波在三维空间中顺风与逆风传播的时间差(倒数差)来计算风速和风向。这一原理不仅避免了机械磨损产生的发尘风险,也确保了测量结果反映的是探头所在位置的真实气流状态。

0.005 m/s的高分辨率。 设备的风速输出分辨率达到 0.005 m/s,测量精度为 ±(读取值的2% + 0.02 m/s),运算周期 10次/秒。在层流洁净室中,如果平均风速为 0.45 m/s,该精度足以识别出 0.02 m/s 级别的气流波动。这种高分辨率让工程师能够发现那些“平均风速达标,但局部存在涡流或死角”的隐患区域。

二、三维分量同时采集与探头设计

洁净室的气流从来不是单方向的平流,而是存在微小涡流和回流的复杂三维结构。WA-790 系统通过配套的探头,实现了三维矢量的同步测量。

TR-90T 与 TR-92T 探头选择。 系统搭配的 TR-90T 探头轴跨度为 5cm,主风向限定范围 ±30°;若需更精细的空间分辨率或应对更严苛的流向限制,可选用 TR-92T 探头(轴跨度 3cm,主风向限定 ±20°)。探头体积小巧,外观为洁净型设计,使用环境为 -20~+50℃(高温选配至120℃),可直接部署在 ISO Class 1~5 级别的洁净车间内,不会因自身积尘成为污染源。

远距离部署能力。 通过配套的 JCW-91 连接电缆(*长可选 20m),探头可以深入设备内部或高架回风口区域,而主机和操作人员留在洁净区外或维修通道。这一设计既减少了人员活动对现场气流的干扰,也方便了测试过程的实施。

三、气流可视化:WASP-007N软件的“从点到图”

测得三维数据只是*步,如何直观呈现才是验证的关键。WA-790 套装包含 SONIC 原厂 WASP-007N 气流监视软件,它解决了离散数据与空间气流组织之间的转换问题。

  • 2D/3D矢量图: 软件可将多个测点的风速矢量绘制为室内的二维断面分布图或三维斜视图。箭头方向代表气流走向,长度代表风速大小。在评估 FFU(风机过滤单元)送风覆盖或机台设备周围的气流干扰时,这种可视化图像能够直观暴露气流短路、盲区或涡流死角的所在位置。

  • 平均风速与标准偏差统计: 气流验证不仅看瞬时值,更看稳定性。软件记录各测点的平均风速和标准偏差。标准偏差偏大的区域,往往意味着气流存在低频脉动或湍流度偏高,是潜在的尘埃沉降风险点。

  • 实时动画与回放: 软件支持风速时序曲线记录,并可将风向大小的实时箭头 3D 显示保存为动画文件,用于追溯设备启停或人员走动等动态事件对气流环境的影响。

四、核心系统参数一览

参数项WA-790 系统规格
测量原理时分收发切换型超声波脉冲法
测量成分A、B、C 三维风速分量
风速测量范围0~10 m/s
风速输出分辨率0.005 m/s(0.5 cm/s)
测量精度±(读取值的2% + 0.02 m/s)
运算周期10次/秒
数字输出RS-422(经 USC-71 信号转换器转为 USB)
主机电源AC100~240V ±10%,约 15VA
软件环境WASP-007N(支持 Windows 7/10 32/64bit)
标准配件主机、探头(TR-90T/92T)、信号转换器、AC适配器、连接电缆、软件

五、选型与部署要点

确认探头方位与限幅。 TR-90T(±30°)和 TR-92T(±20°)均为“主风向限定型”探头。在层流洁净室或 FFU 送风口等流向相对稳定的区域,将探头主导风向对准气流主轴即可获得可靠的三维数据。若测点处于复杂回流区,需评估气流方向是否在探头限幅范围内,必要时调整测点布置或增加探头密度。

线缆与现场布线。 JCW-91 连接电缆*长可达 20m,需根据测点位置与主机摆放位置准确核算所需长度。在设备密集的洁净室内,避免信号线与动力电缆并行走线,以防电磁干扰。

软件通讯连接。 系统通过 USC-71 信号转换器实现 USB 输出。电脑端需安装 WASP-007N 软件,并在系统设备管理器中确认 USB 端口正确识别。在现场测试前,建议提前完成软件安装与通讯联调,避免在洁净室内耗费宝贵的时间排查通讯故障。

典型应用场景: 半导体晶圆厂与面板产线的洁净室气流组织验证、医药 GMP 无菌车间的气流流型测试(烟雾试验辅助)、FFU 及送风系统性能评估、热平衡与水平衡相关的室内气流观测等。

六、现货与技术支持

近期我司新推出升级了 SONIC索尼克 WA-790 洁净室三维超声波风速计,目前深圳仓库有原装现货库存。作为日系代理,我们可提供选型咨询、系统配置核对和测试方案支持。采购时请确认所需探头型号(TR-90T/TR-92T)、连接电缆长度、信号转换器配置以及 WASP-007N 软件的配套需求,以确保整套系统与您的洁净室验证流程相匹配。


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