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玉崎半导体(深圳)有限公司
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首页 >玉崎半导体(深圳)有限公司> 技术文章> 现货 SONIC索尼克 WA-790 三维超声波风速计 搭配TR-90T探头 气流可视化

现货 SONIC索尼克 WA-790 三维超声波风速计 搭配TR-90T探头 气流可视化

2026/10/22 19:33:05

近期我司新推出升级了 SONIC索尼克 WA-790 三维超声波风速计套装(搭配 TR-90T 原装探头),目前深圳仓库有原装现货库存。 在半导体洁净室、医药GMP车间和精密电子产线中,气流组织的均匀性和方向性直接关系到颗粒物的排除效率与工艺环境的稳定性。传统单点热线风速计只能反映探头所在位置的风速标量,无法区分气流的三维方向,更难以捕捉层流环境中的微小涡流和死角。WA-790 采用时分收发切换型超声波脉冲方式,通过 TR-90T 探头同步获取 X/Y/Z 三个维度的气流分量,再配合 WASP-007N 气流监视软件,将离散的测点数据转化为二维断面和三维斜视的气流矢量分布图,为洁净室气流验证和工艺优化提供从“数值”到“图像”的完整数据链。

一、产品定位:面向洁净室微弱气流的三维测量

WA-790 属于 SONIC 面向洁净室和室内环境设计的三维超声波风速计。其核心测量指标围绕“微弱气流”展开:风速测量范围 0~10 m/s,输出分辨率达到 0.005 m/s(0.5 cm/s),测量精度为 ±(读取值的2% + 0.02 m/s),运算周期 10次/秒。这一分辨率水平使设备能够在 0.1~0.5 m/s 的层流工作区间内分辨出微小的气流波动,识别涡流和气流死角,而非仅仅显示一个笼统的平均风速。

测量方式为时分收发切换型超声波脉冲法,运算基于超声波传播时间的倒数差。与热线式或叶轮式风速计不同,超声波探头内部没有机械转动部件,不会因轴承磨损产生粉尘颗粒,也不会因探头自身运动扰动待测流场。这一特性使其适配 ISO Class 1~5 洁净室的气流验证需求。设备电源为 AC100~240V 宽压输入,主机功耗约 15VA。

二、TR-90T 探头:三维分量采集与主风向限定

TR-90T 是 WA-790 的标准配置探头,在系统中承担前端气流信号采集的角色。

三维分量测量与 5cm 轴跨度。 TR-90T 采用时分收发超声波结构,采集 X/Y/Z 三个维度的气流时差信号,换算得到三维风速风向数值。探头的测量轴跨度为 5cm,三个测量轴(A/B/C)覆盖的空间尺度与洁净室常见的气流微结构相匹配。对于晶圆制造设备周边、FFU 出风口下方和工艺腔体开口处的局部气流评估,5cm 的轴跨度能够在不过度扰动流场的前提下获取有空间代表性的三维数据。

主风向限定与测量边界。 需要明确的是,TR-90T 属于主风向限定型三向探头,其有效测量范围限定在主风向 ±30° 以内。这意味着探头应对准待测气流的主导方向安装,适用于层流洁净室、风洞和空调送风口等流向相对明确的气流环境。若气流方向大幅偏离主风向轴(例如强横流或回流区),数据有效性会下降。对于轴跨度更小(3cm)、主风向限幅 ±20° 的工况,同系列另有 TR-92T 探头可选。探头本体使用环境为 -20~+50℃,高温选配版本可扩展至 120℃。

无尘设计与远距离部署。 探头外观为洁净型设计,不易积尘,可直接部署在洁净车间内部。配套的 JCW-91 连接电缆*长可选 20m,允许将探头布置在设备内部或高架回风区域,而主机和操作人员留在洁净区外或维修通道,减少人员活动对测量流场的干扰。

三、气流可视化:WASP-007N 软件的“从点到图”

WA-790 套装附带 SONIC 原厂 WASP-007N 气流监视软件。如果说探头解决的是“个点测到了什么方向的风”,WASP-007N 解决的则是“整个空间的气流是怎么组织的”。

二维断面与三维斜视矢量图。 软件可将多个测点的风速矢量绘制为室内的 2D 断面分布图和斜视图,用箭头方向和长度直观表示各点的气流走向与强度。在洁净室气流验证中,这一功能帮助工程师快速识别送风覆盖盲区、回风短路路径以及设备上方的气流分离现象,而不必逐点翻阅数值表格。

平均风速与标准偏差的统计记录。 软件对每个测点记录平均风速和标准偏差,并支持画面显示和收录。标准偏差是评估气流稳定性的关键指标:在层流洁净室中,平均风速达标但瞬时波动偏大的区域,往往对应着涡流或送风不均,颗粒物沉降风险更高。这一统计维度将“风速是否达标”的判断从单点瞬时值扩展到时间维度上的稳定性。

风速时序曲线与三维动画回放。 软件以钢笔绘图方式记录风速随时间的变化,支持瞬时值收录与回放;风向和大小的实时箭头 3D 显示可保存为动画文件。对于工艺设备启停、人员走动或FFU调速等动态事件引起的气流扰动,时序回放功能提供了事后追溯的手段。

室内物体标注。 软件支持在“风速矢量室内分布图”中绘制机台、出风口等室内物体轮廓,使气流图与物理空间布局对应,便于跨部门沟通验证结果。软件运行环境为 Windows 7/10(32/64bit),通过 USB 端口与 USC-71 信号转换器通信。

四、系统构成与核心参数

WA-790 三维超声波风速计是一个由主机、探头、信号转换器和软件构成的成套系统。标准构成包括:WA-790 主机、TR-90T(或 TR-92T)探头、USC-71 信号转换器、AC 适配器、JCW-91 连接电缆以及 WASP-007N 气流监视软件。主机通过 RS-422 输出数字信号,经 USC-71 转换为 USB 接口与电脑连接。

参数项WA-790 系统规格
测量方式时分收发切换型超声波脉冲方式
测量成分A、B、C 三维风速分量
风速测量范围0~10 m/s
风速输出分辨率0.005 m/s
测量精度±(读取值的2% + 0.02 m/s)(主风向0调整后)
运算周期10次/秒
数字输出RS-422(经 USC-71 转换为 USB)
探头轴跨度TR-90T:5cm
探头主风向范围TR-90T:±30°
探头使用环境-20~+50℃(高温选配至120℃)
主机电源AC100~240V ±10%,约15VA
配套软件WASP-007N(2D/3D矢量图、时序记录与回放)

以上参数综合自产品技术资料。

五、选型与部署要点

确认气流方向与探头限幅的匹配。 TR-90T 的有效测量范围为主风向 ±30°。在层流洁净室、FFU 送风面和风洞等流向相对稳定的场景中,将探头主风向对准气流主导方向即可获得可靠的三维数据。若待测区域存在大角度横流或回流,需评估测点位置是否在 ±30° 覆盖范围内,必要时调整探头朝向或增加测点密度。

主机与探头的配套核对。 TR-90T 是 WA-790 的原装探头,采购时需确认主机与探头的成套适配性。若需更小轴跨度(3cm)或更窄主风向限幅(±20°)的探头,同系列 TR-92T 是替代选项,但需确认与主机的兼容性。

信号转换与软件环境。 系统通过 USC-71 信号转换器实现 USB 输出,电脑端需安装 WASP-007N 软件并确认 USB 端口可用。软件运行于 Windows 7/10 环境,部署前应确认操作终端满足系统要求。

远距离布线的线缆长度。 JCW-91 连接电缆标准长度可选至 20m。在大型洁净室或设备内部署探头时,应根据测点与主机操作位的实际距离确认线缆规格,避免因线缆长度不足导致探头无法到达目标测点。

典型应用覆盖。 WA-790 搭配 TR-90T 适用于:半导体晶圆厂和液晶面板线的洁净室气流组织验证、医药 GMP 车间的气流流型测试、FFU 与送风口性能评估、设备周边涡流与死角识别,以及热平衡和水平衡相关的室内气流观测。

六、现货与技术支持

近期我司新推出升级了 SONIC索尼克 WA-790 三维超声波风速计套装(搭配 TR-90T 原装探头),目前深圳仓库有原装现货库存。作为日系代理,我们可提供选型咨询、系统配置核对和气流测试方案支持。采购时请确认探头型号(TR-90T/TR-92T)、连接电缆长度、信号转换器配置以及 WASP-007N 软件的配套需求,以确保整套系统与洁净室气流验证的测点布局和数据分析流程相匹配。


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