FLUORO福乐C002-D-X-103真空吸笔技术解析防静电万向接头半导体精密元件无尘取放

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-D-X-103 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中配备X型360°万向旋转接头与103加长金属导杆的主力规格，采用NO常开型阀体，笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，吸嘴采用导电PEEK材质，面向半导体精密元件、8寸硅晶圆、MEMS器件等对静电防护和无损取放有严苛要求的干式无尘场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及103金属导杆，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的*

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C002-D-X-103：万向接头 + 103加长导杆配置

C002-D-X-103是FLUORO C系列导电型真空吸笔中兼顾灵活操作与深腔取放的全能款规格，专为半导体精密元件、8寸硅晶圆及MEMS器件的无尘取放而开发。

型号释义：

三、核心技术解析：ESD防静电 + X万向接头 + NO常开阀

① ESD防静电通路，保护精密元件免受静电损伤。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆和芯片良率损失的隐形杀手。C002-D-X-103笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） 制成，吸嘴采用导电PEEK（聚醚醚酮） 材质，两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。整机无突出外露金属件，取放作业时避免刮伤晶片表面镀膜。

② NO常开阀体，接通真空即吸附。 C002-D-X-103采用NO（Normally Open）常开型阀体。接通真空源后即保持吸附状态，将吸嘴轻触工件表面即可自动吸附；放下工件时只需按下顶端按钮，即可切断真空释放工件。这一操作逻辑适合半导体产线中需要快速取放、连续搬运的工位，长时间手持作业无需持续按压按键，有效降低操作人员手部疲劳。内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。

③ X型360°万向旋转接头，腔体内灵活对位。 C002-D-X-103采用X型球状万向旋转接头，软管连接处可360°自由转动。在设备腔体深处、夹具夹缝位置取拿晶片时操作更加灵活顺手，倾斜工位也可以垂直贴合工件表面，降低碎片风险。与Y型固定式接头相比，X型万向接头在设备腔体内部、异形工位等空间受限场景中更具灵活性。

④ 103加长金属导杆，深入中等深度腔体取放。 103规格的加长金属导杆专为中等深度腔体内部取料作业设计。可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。

⑤ 模块化可更换设计，一支笔覆盖多尺寸工件。 吸嘴采用快拆结构，兼容FLUORO C系列全系配套吸嘴，可快速更换26-0.5、100、103、106、161等多款不同孔径吸嘴，覆盖小型裸芯片、mini晶片、光学镜片、陶瓷薄片等多种尺寸工件。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换，无需更换整支笔身，降低长期运维成本。

⑥ 低发尘洁净设计，适配百级至千级洁净室。 笔身内壁镜面抛光，不易附着粉尘颗粒，满足Class100～1000洁净车间使用要求。吸嘴接触柔和，不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。

四、主要技术规格

五、C系列选型对比

C002-D-X-103的NO常开逻辑在半导体精密元件量产线上操作简洁高效，X型万向接头使其在腔体内部取放场景中比Y型固定式接头更具灵活性；C003的独立锁止开关则适合需要长时间保持吸附状态的晶圆长距离转运。

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C002-D-X-103吸笔负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。FV系列包含以下型号：

FV-30-240流量为2.5L/min，压力可达-300mmHg（-40kPa），支持*6英寸晶圆的处理需求，适配国内220-240VAC供电场景，消耗功率5.0W，设备尺寸137×88×85mm，重量约800g。FV-60-240*压力-600mmHg（-80kPa），适配8寸及12寸晶圆处理需求。整机无油设计，进气口和排气口均内置HEPA过滤器，可阻挡99.97%的0.3μm以上微粒。

七、适用行业与场景

• 半导体制程：8寸硅晶圆手动搬运，探针台测试上下料、研磨划片后取样、设备中等深度腔体取放

• 芯片封装测试：MEMS器件、LED晶片、薄型精密元器件拾取，替代传统金属镊子

• 光学行业：镀膜玻璃基板、光学滤光片无尘搬运，保护表面镀膜层

• 化合物半导体：碳化硅衬底、氮化镓晶片基板的防静电取放

• Mini-LED/面板：薄型陶瓷基板、mini晶片的手动拾取

• 科研实验室：薄脆陶瓷片、光电薄片样品的精密转移取样

八、现货库存信息

FLUORO福乐 C002-D-X-103 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及103金属导杆，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（26-0.5、100、103、106、161等规格）、替换103金属导杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。

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