山金进口 JEOL日本电子 JBX-3050MV/S 电子束光刻系统

2026/09/16 14:20:02

这是一套用于制造*45nm节点掩模和光罩的可变形状电子束光刻系统。
它采用*技术，实现了高速、高精度和高可靠性。
该系统基于50kV加速电压的可变形状电子束和步进重复平台系统。
特征
通过利用步进重复绘制方法的优势，并将其与绘制剂量调制和叠加绘制等功能相结合，它可以处理传统掩模/光罩图案所需的各种校正。
执行记录
国内外的专营口罩店和零售商口罩店。
规格和选项
连接准确性 ≤±3.8nm
叠加精度 ≤±7nm

所属分类：
JEOL 日本电子
发布时间： 2026-07-03

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详细介绍

这是一套用于制造*45nm节点掩模和光罩的可变形状电子束光刻系统。
它采用*技术，实现了高速、高精度和高可靠性。
该系统基于50kV加速电压的可变形状电子束和步进重复平台系统。

特征

通过利用步进重复绘制方法的优势，并将其与绘制剂量调制和叠加绘制等功能相结合，它可以处理传统掩模/光罩图案所需的各种校正。

执行记录

国内外的专营口罩店和零售商口罩店。

规格和选项

连接准确性	≤±3.8nm
叠加精度	≤±7nm

‌日本电子株式会社（JEOL Ltd.）‌ 是一家 1949 年成立于日本的科学仪器制造商，全球员工约 3731 人，年销售额 1793 亿日元，*为 jeol.com。‌‌

公司与业务概况

‌全球布局‌：JEOL 在日本及全球设有 27 个海外办事处，海外销售占比达 67.2%，在 Nature Index 日本企业类别中排名第 1。‌‌
‌四大业务板块‌：
- 科学仪器：电子显微镜、核磁共振谱仪、质谱仪等，用于科研领域。
- 半导体设备：电子束光刻系统、半导体用电子显微镜等。
- 工业设备：电子束源、等离子源、3D 打印机等，用于薄膜形成和材料加工。
- 医疗设备：临床化学分析仪、实验室信息系统等。‌‌

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