特征
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01. 具有优异排气特性的闸阀。
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02. 支持 80A 至 400A 的多种直径。
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03. 即使在停电时也能完全密封。
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04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
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05. 可实现流量控制直至完全关闭的结构。
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06. 由于采用不锈钢磨料，气体释放量低。
规格
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口径
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80A 至 400A
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工作压力范围
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10⁵ Pa 至10⁻⁶ Pa
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内部密封件（阀门）泄漏
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1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
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外部密封件（轴）泄漏量
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1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
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气体接触部件的材料
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SUS304
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阀门密封
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氟橡胶O型圈
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轴封
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氟橡胶O型圈
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耐热温度
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主机：150℃
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电机：40℃
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停电期间阀门运行*
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停止（刹车锁）
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*GAR在安装位置方面存在一些限制。详情请联系我们。
*我们还可以生产防断电产品。
主要用途：
· 半导体制造：刻蚀、沉积、离子注入、外延、清洗设备的真空腔体隔离、压力闭环调节、
大流量快速排气
· 真空镀膜：光学/半导 PVD/CVD 镀膜线的抽气控制、工艺压力稳定、腔体通断
· 光伏锂电：硅片制绒、PECVD、锂电真空干燥、涂层检测的大口径真空管路控制
· 科研分析：高能物理、材料表征、质谱、电子显微镜的高真空系统气路控制
· 工业真空：真空炉、钎焊、检漏、氦回收系统的大流量、高精度压力调节
日本 MIYUKI 美幸辉采购供货渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ （林经理）
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