GR-C100 是日本美幸辉 (MIYUKI) 公司 GR 系列中的一款 DN100 气动高真空闸阀。它采用气动驱动，专为要求高真空密封性与洁净度的自动化应用而设计。

核心技术规格

核心特点

• 紧凑化设计：执行器的放置位置经过优化，旨在缩短阀门的外部轮廓尺寸，使其能更好地适配空间有限的真空系统。

• 优异的抗反压密封性能：阀体密封机构采用均匀分布的压球方式，在反向压力下也能保持高可靠性，确保真空系统的稳定。

• 低释气、高洁净：不锈钢外壳采用真空钎焊工艺，消除了内表面的死角，有效减少了气体释放（脱气）。产品在无尘室中完成组装和检查。

• 可靠的驱动与缓冲：气缸设计巧妙，关闭时推力加倍以确保密封牢固，同时在行程末端形成气垫效果以起到减震作用。

• 安装灵活：支持任意角度安装，可适应多样化的紧凑管路布局。

应用场景

• 半导体制造：刻蚀、沉积（PVD/CVD）等工艺设备的真空管路自动控制。

• 光学镀膜：真空镀膜设备的气动阀门。

• 科研与航天：高真空实验装置的自动化操作。