膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。 气体接触区域不使用油的干式真空泵。 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。 单级排气系统比两级排气系统更快。 具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。 大气压下可以运作。 真空吸盘，晶圆和*处理设备。 真空镊子，医疗器械。 印刷设备。 自动包装机。 光学器具。 半导体行业。 注塑机。特点
用途
※1：极限压力如（）真空计显示。 ：标准、○：可选对应、－：对应不可 １ 如果在负载运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。 ２ 请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。 ３ 泵启动时会有大电流流过。 ４ 仅供室内使用规格
Unit 50Hz 60Hz 有效排气速度 L/min 60 72 极限压力※1 Pa (kPa) 21.3×103 （-80.0） 使用电动机 单相, 100V, 200W, 4P, 分相启动 全负荷电流 A 5.6 5 重量 kg 11 吸/排出孔（内螺纹尺寸） mm O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4) 使用环境温度范围 ℃ 7～40 *尺寸 mm 212(W)×278(L)×224.5(H) 对应标准/电压
型号 标准 ＣＥ自我宣言 1Φ
100V1Φ
115V1Φ
200V1Φ
220VDA-60S － － － ○ ○ 使用上的注意
在这种情况下，将泵内部恢复到大气压。
另外，请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。
在短时间内频繁打开和关闭泵电源可能会导致问题。
不要经常频繁打开/关闭电源。
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。
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