日本MIYUKI美幸辉 GAZ-I80 数字定点电动真空阀
日本MIYUKI美幸辉 GAZ-I80 数字定点电动真空阀
| 型号 | 控制模式 | 配套控制器 | 适用工况 |
|---|---|---|---|
| GAZ-I80 | 00~99 档位定点控流 | MS-PC | 固定量产工艺、大腔体分段缓破空 |
| GAR-I80 | 0~10V 模拟无级调压 | MS-VP | 动态闭环连续稳压、实时流量微调 |
本地面板设置:拨码设定 00 (全关)~99 (全开) 档位,MOVE 定点执行、OPEN 一键全开,四路 LED 反馈(就绪 / 动作 / 全开 / 全关);
PLC 远程联锁:8 位二进制开关量远程下发开度点位,四路无源触点回传阀位信号,方便自动化产线联锁控制;
出线线缆可选 3m/5m/10m 原厂规格。
大型卷绕镀膜、ITO 薄膜 PVD 磁控溅射腔体:阶梯缓破真空,杜绝膜层针孔、氧化不良;
大中型锂电真空除气炉、真空钎焊热处理炉:分段配比载气、腔体梯度稳压泄压;
光伏镀膜生产线、大型氦检工装、中试高真空实验舱微量进气调控。
伺服直驱无减速齿轮,零回程间隙,小开度进气流量线性稳定,档位设定后机械自锁,阀位无漂移;
断电电磁抱闸锁阀位,失电保持当前开度,避免腔体骤破真空、镀膜工件氧化报废;
内置*值原点传感器,断电重启自动记忆原点,无需现场反复开度;
低释气、低发尘无尘构造,启闭静音,立式 / 卧式 / 侧向全角度自由安装;
GAZ 为 BAZ 大流量升级款,通流截面积更大,适配大容量腔体大流量稳压泄压工况。
开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿,支持高层系统的输入输出操作,并在停电时通过电磁制动保持位置
概述
■ 这是一个开启控制系统,将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。
■ 气门开口均匀分布为100个部件,贯穿传动轴的工作范围内。
■ 可以通过面板开关手动操作,更高级别系统也可以实现自动操作。
■ 该阀门既可用于可变导导,也可用于全闭合排气管。
地理位置
| 控制器型号 | MS-PC |
|---|---|
| 适用的开口规范阀门类型 | 巴兹加兹 |
| 面板显示 | 4个LED灯(准备/移动/开/关闭) |
| 面板操作 | 电平设置开关(00~99),移动按钮,打开按钮 |
| 外部输入输出 | 开门度规范(bit1, 2, 4, 8, 16, 32, 64, 128), MOVE, OPEN |
| 外部输入输出输入/输出 | 准备,移动,打开,关闭 |
| 输入电源 | 电压:DC24V±5% 功耗:*95W |
| 参数重写*1 | 数据设置软件 MEXE02(东方马达) |
| 尺寸(W×D×H) | 110毫米×130毫米×141毫米 |
| 质量 | 1公斤 |
| 配件 | 支架 |
| 有线电视(单独出售)*2 |
电机电缆 |
※1:在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。
※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。
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