EBARA EV‑PA500 干式真空泵（日本荏原）产品详情

---

一、核心参数（原装标准）

• 型号：EV‑PA500（单相通用电压）
• 抽气速度：500 L/min（气镇开：430 L/min）
• 极限真空：0.5 Pa（气镇开：2.0 Pa）
• 冷却方式：空冷（无需冷却水）
• 电源：单相 100–240 VAC，50/60 Hz（宽电压自适应）
• 功耗：0.27 kW（极限真空）；峰值≈0.6 kW
• 尺寸（W×L×H）：189 × 482 × 272 mm
• 重量：21 kg（便携提手）
• 噪音：58 dB(A)（1 米）
• 接口：进气 / 排气均为 NW25 快装
• 材质：腔体铝合金 + 特殊涂层，耐轻微腐蚀 / 粉尘

---

二、主要特点

1. 完全无油・洁净真空

   多级罗茨非接触转子，无油、无泄漏、无油雾；适合半导体、锂电、医药、分析仪器等高洁净场景。
2. 空冷免水・安装极简

   无需冷却水，仅接电源即可；布局灵活、无水费、无漏水风险。
3. 免维护・长寿命

   无密封件 / 易损件，无需年度保养、无需换油 / 换密封；MTBF 长。
4. 小轻便・低噪低震

   21 kg + 提手，可移动；58 dB (A)，实验室 / 洁净室友好。
5. 智能监控・远程可控

   自带状态指示灯、温度 / 负载监测；支持远程启停与报警（可选通讯模块）。
6. 合规

   CE、SEMI‑S2、NRTL；符合半导体 / 医药规范。

---

三、典型应用

• 实验室：质谱、电镜、表面分析、检漏仪
• 半导体：Load Lock、传输腔、小型刻蚀
• 锂电 / 光伏：真空干燥、注液、层压辅助
• 医药化工：蒸馏、干燥、溶剂回收（轻度腐蚀）
• 通用工业：小型真空包装、吸附、脱泡

---

四、采购与现货

• 原装现货、含税含质保
• ：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸
• 地址：深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼
• 优势：深圳现货 1–3 天发货