这是一面电磁驱动的镜子,采用了我们专有的微机电系统(MEMS)技术。 磁铁放置在镜子下方以缩小尺寸,采用密封封装实现高度可靠性。 当电流通过镜子周围的线圈时,弗莱明定律会产生洛伦兹力驱动镜子。 我们的MEMS镜子还具备宽广的光学跑角和高反射镜反射率。
■特征
・小尺寸
・宽光学延伸角
・低压驱动:适合设备安装
・高可靠性:密封封装
・低速轴:可线性运行
日本直供滨松光子MEMS镜像S13989-01H
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| 类型 | 二轴光栅扫描 |
|---|---|
| 作模式 | 高速轴:非线性模式(谐振模式) 低速 轴:线性模式 |
| 镜面尺寸 | φ1.23毫米 |
| 镜像材料 | 铝 |
| 光学跑出角 | 高速轴:±20° 低速轴:±12° |
| 驱动频率(*) | 高速轴:29.3 kHz(典型) 低速 轴:100 Hz |
日本直供滨松光子MEMS镜像S13989-01H
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