电子背散射衍射（EBSD）是一种非常强大的显微结构表征工具。

电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM)），提供样品显微结构晶体学信息的技术。在EBSD中，电子束与倾斜的晶态样品相互作用，形成衍射花样。衍射花样可以通过荧光屏探测到，它具有所产生处样品的晶体结构和取向特征。因此，衍射花样可用来确定晶体结构及取向、区分晶体上不同的相、表征晶界、和提供有关局部结晶完整性的信息。

EBSD已成为SEM中的一个*的附件，常用来提供晶体学信息。EBSD广泛地应用于许多不同的领域，以帮助材料表征，如下表所示。

 AZtec EBSD系统结合了EBSD（ Symmetry S3 ）的速度和灵敏度以及 AZtecHKL软件*的分析性能，为电子背散射衍射（EBSD）和透射菊池衍射（TKD）分析提供了一种功能强大、用途广泛的工具。