通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。 采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。特点
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。用途
*1：到达压力时 MS120A MA600A MS1200A规格
型式 MS120A MS600A MS1200A *排气速度 *1 m3/h 115 560 980 到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1 电源电压 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷却水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 *水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排气口 KF40 质量 *4 kg 139 241 264 适用规格 CE、cTUVus 标准附属品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer 本体选配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM外部选配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用时的*水蒸气处理量
*4：Including a silencer排气速度曲线
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