半导体 IGS 集成供气系统、气体柜日常维护更换，阀件备件缺货经常导致产线停机。FUJIKIN 富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C 气动金属隔膜阀，是 IGS 集成阀块配套核心备件，广泛用于晶圆厂、化合物半导体气体面板。

简介

FUJIKIN 富士金，日本纯流体控制，半导体高纯气体管路、IGS 集成供气系统核心供应商。FPR 系列金属隔膜阀，专为 IGS 模块化集成气路开发，在国内半导体产线气体柜属于高频更换备件。

✅ FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C 产品参数

- 型号：FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C

- 阀类型：气动金属隔膜阀（IGS 集成块安装型）

- 接口尺寸：6.35mm（1/4 英寸）

- 连接方式：UGC 金属垫片密封

- 阀体材质：SUS316L EP 电解抛光，禁油处理

- Cv 值：0.1

- 使用压力：20.5MPa

- 使用温度范围：-10℃ ~ 40℃

- 适用介质：高纯氮气、氩气及各类特种工艺气体，可用于真空工况

- 驱动方式：气动驱动

📌 产品核心特点

1. IGS 集成阀块，适配富士金 FINE PURE IGS 模组

UGC 金属垫片密封结构，直接嵌装在 IGS 集成块上，相比传统分立管路，大幅缩短管路长度，降低气路死体积，气体切换响应快。

2. 低泄漏，保障半导体工艺稳定性

金属膜片密封结构，内外漏率控制好，有效防止微量工艺气体泄漏，避免气体配比漂移，稳定晶圆工艺良率。

3. EP 镜面抛光 + 禁油处理，微粒控制能力强

SUS316L EP 电解抛光阀体，内壁粗糙度低，无油污析出，减少颗粒产生，满足半导体高端制程高纯气体输送要求。

4. 气动启闭稳定，适合高频循环工况

金属隔膜结构，抗疲劳性好，产线气体柜频繁通断场景下使用时间更长，是气体柜维保替换备件型号。

5. 紧凑结构，节省气体柜内部空间

模块化嵌入式安装，不需要额外接管，简化气体柜内部管路布局，方便工程师现场拆装更换备件。

🧪 典型应用场景

半导体 IGS 集成供气系统、晶圆厂气体柜、特种气体输送管路、真空管路、化合物半导体设备、光伏薄膜设备工艺气路。

💡备件选型更换提醒

1. 该型号是 IGS 集成块阀，安装结构和普通管路隔膜阀不一样，更换前确认 IGS 阀块安装位尺寸；

2. 输送腐蚀性特种气体，务必复核阀体、膜片材质与介质兼容性；

3. 气动驱动气源压力需严格遵循富士金规范，保证阀门正常开关动作。