近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-Y-98-CP 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中专为8英寸（200mm）半导体硅晶圆量产场景优化的主力规格，采用NO常开型阀门与Y型固定式接头，笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，吸笔头采用导电PEEK材质，面向半导体晶圆搬运、封装测试、探针台操作等对静电防护有严苛要求的干式无尘场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及98-CP吸笔头，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的*

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C002-Y-98-CP：为8寸硅片量产工位打造的防静电吸笔

C002-Y-98-CP是FLUORO C系列导电型真空吸笔中专门针对8英寸（200mm）半导体硅晶圆设计的规格。型号中“C002”代表C系列导电型笔身，采用NO常开型阀门；“Y”代表固定式接头；“98-CP”代表适配8寸晶圆的导电PEEK吸笔头。该规格在半导体8寸产线的晶圆搬运、检测台取放、设备内腔拾取等工位中应用广泛，是8寸量产线上高频使用的标准工具。

三、核心技术解析：防静电通路 + 常开阀体 + 固定式接头

① 全域防静电防护，保障晶圆良率。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。在PECVD等离子体增强沉积、晶圆边缘抛光或硅片参数测试等对静电敏感的工序中，静电击穿可造成严重良率损失。C002-Y-98-CP通过笔身导电尼龙材质与吸笔头导电PEEK材质构成完整的静电泄放通路，表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。该电阻率区间符合ESD管控标准，适配百级、千级无尘防静电车间使用。

② NO常开阀体，接通真空即吸附。 C002-Y-98-CP采用NO（Normally Open）常开型阀门。接通真空后即保持吸附状态，将吸笔头轻触晶圆背面即可自动吸附；放下晶片时只需按住吸笔上端的按钮，即可切断真空释放工件。这一操作逻辑适合需要快速取放、连续搬运的8寸量产工位，吸附与释放动作由操作人员主动控制，避免误吸附导致的晶圆掉落风险。

③ Y型固定式接头，垂直重载拾取稳定不偏移。 C002-Y-98-CP采用Y型固定式接头设计，笔身与吸嘴直线刚性连接，无活动万向关节。固定式接头专为承受较重晶片的吸附应用而优化，垂直下压受力均匀，抓取8寸整片晶圆时不偏移、不打滑，适配标准化垂直对位产线。与X型球状旋转接头侧重多角度灵活操作不同，Y型固定式接头主打定点稳定重载拾取，尤其适合8寸整片晶圆的搬运需求。

④ 导电PEEK吸笔头，镜面抛光不划伤。 吸笔头采用耐化学品、耐热、强韧的PEEK树脂素材，经机械加工后进行热处理和镜面加工，长期使用仍能维持稳定性能。通过添加碳纳米管，在低填料含量下实现了高水平的导电性管理，拾取晶圆时不会产生划痕或碎屑。吸嘴为独立消耗件，老化磨损后仅需更换前端耗材，无需更换整支吸笔。

⑤ 模块化可更换设计，降低使用成本。 笔身阀体、吸杆、吸笔头三者独立拆分，可快速替换92-CP、97-CP、98-CP等全系吸头，覆盖8寸整片晶圆及光学镜片，一套吸笔适配多道制程工序。

四、主要技术规格

五、C系列选型对比

C002相比C003缺少独立锁止开关，但操作逻辑更简洁直接，适合8寸量产线上需要快速取放、连续搬运的工位；C001的NC常闭逻辑更适合需要*控制吸附时机的场景。

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C002-Y-98-CP吸笔负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。FV系列包含FV-30-240（极限负压-50kPa，适配6寸以下）、FV-60-240（极限负压-85kPa，适配6-8寸，可驱动1-2支吸笔）、FV-XP（极限负压-90kPa，适配8-12寸）等型号。整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器，可阻挡99.97%的0.3μm以上微粒。

七、适用行业与场景

• 半导体制造：8寸硅晶圆手动搬运，探针台测试、晶圆贴膜、划片、封装工序

• 半导体封装测试：8寸硅晶圆、微型晶粒、射频陶瓷基板取放

• 洁净室环境：符合无尘标准，适配百级、千级无尘车间高精度生产需求

• 光学行业：光学镜片、滤光片、光器件无损转移

• 科研实验室：探针台样品拆解分拣、薄片易碎精密样品手动转移

八、现货库存信息

FLUORO福乐 C002-Y-98-CP 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及98-CP吸笔头，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸笔头（92-CP/97-CP/98-CP系列）、替换吸杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。