真空压力表是一种测量低于大气压的负压的压力测量仪器。

压力测量仪器有三种类型：压力表、复合压力表和真空表（真空表也称为真空压力表）。每种仪器测量的压力范围都不同：压力表只能测量正压，复合压力表可以在一定范围内测量正压和负压，而真空表只能测量负压。

因此，使用真空表测量负压以外的任何压力都可能导致其发生故障，所以务必谨慎。

真空压力表的用途
真空压力计用于半导体制造设备的等离子刻蚀空间，以及冶金和有机合成的实验装置中。它们还应用于离子束设备、蒸发设备以及对表面清洁度要求较高的加工设备中。

在执行诸如抽空管道空气、产生真空并充入气体等任务时，需要使用真空压力表来测量真空度。一个常见的例子是安装新空调时。

空调管道内只充入制冷剂气体，空调就能正常运转，不会发生故障。

真空压力表的原理
测量真空压力的方法主要有三种：机械现象、气体传输现象和气体电离现象。

1. 机械现象
利用机械现象进行的测量可以使用 U 形管压力计、麦克劳德真空计、隔膜真空计、波登管真空计和重锤式真空计进行。

U型管压力计是一种差压计，
其 原理是将玻璃U型管的一端密封在真空环境中。它通过测量由压差形成的液柱高度来读取气体的压差，其特点是不受气体种类的影响。因此，它可以测量压力的*值。

麦克劳德真空计
这是一种水银柱压力计，用于测量高真空压力。它采用压缩气体以增加压力的机制，从而可以测量*压力。

隔膜真空计是一种通过机械、光学和电学方式读取
隔膜在压力作用下变形量的方法。

2. 气体传输现象
利用气体传输现象的真空压力表是热传导真空压力表。它利用了气体热导率随压力变化的特性。

热导真空计有很多种类型，包括皮拉尼真空计、热敏电阻真空计和热电偶真空计。需要注意的是，在高真空度下，热辐射的影响会大于热传导的影响。因此，热导真空计的一个缺点是不能用于测量高真空度。

皮拉尼真空计是一种测量电阻变化的仪器。它的工作原理是：电流通过一根细铂电阻丝，利用桥式电路检测气体分子碰撞吸收热量引起的铂电阻变化。

3. 气体的电离
这种方法利用气体的电离现象来测量真空。其类型包括热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和辐射真空计。

热阴极电离真空计 该装置
通过从热阴极发射热电子来电离气体，并测量产生的离子。

冷阴极电离真空计
该方法利用冷阴极放电电离气体来测量离子。

辐射真空计
测量辐射产生的离子。