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全新日本TOFCO东富科BY-OM 分流式流量计

发布时间:2026/09/18 14:09:27 发布厂商:池田屋贸易(深圳)有限公司 >> 进入该公司展台


        THP-CD 是一款带集成控制阀的模拟/数字式质量流量控制器(MFC),专为洁净气体的高精度闭环控制而设计。它基于热式传感原理直接测量质量流量,并内置 PID 算法驱动电磁阀进行自动调节,在半导体、光伏、新能源等对气体配比要求严苛的工艺中是核心控制部件。


        TOFCO东富科流量计专为洁净腐蚀性液体设计,接液多采用 PFA 材质,禁油无析出。涵盖USF超声波、CR科里奥利质量、FM-PF浮子、VK-T涡街及叶轮流量计,搭配FLC流量控制器。产品无活动件或低磨损结构,抗气泡性能强,广泛用于半导体湿法清洗、面板、纯水与精细化工,实现药液流量监测与闭环调控。

TOFPINE 集成模组则将各类仪表、阀件管路一体化预制,实现流体系统集成,满足半导体湿法工艺的洁净流体测控需求。
       在半导体行业,是其核心应用场景,流量计、流量控制器与流体模组多用于晶圆湿法清洗工序,对纯水、酸碱高纯药液实时检测并调节流量。PFA 接液材质无析出污染,产品抗气泡性能优异,保障晶圆制造良率,同时用于设备冷却水路、臭氧水处理与脱氧循环。

       显示面板制造行业,产品服务于湿法蚀刻、清洗工艺,稳定高纯化学品与纯水供给流量,控制蚀刻效果,减少生产批次差异。生物医药行业用于纯化水输送、洁净配液,满足制药洁净标准,实现药剂定量配料。精细化工场景可完成强酸强碱试剂微量计量与在线配比,保证化学反应稳定。

       此外,产品还用于纯水制备输送、精密设备温控冷却回路。TOFPINE 模块化流体单元,将阀件、仪表、管路预制集成,简化设备管路设计,缩短装配周期,也可配套臭氧分解、水体脱氧等环保水处理项目。

面积式流量计
转子流量计
TOFCO东富科
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