这是一款用于制造32nm至28nm工艺节点掩模和光罩的可变形状电子束光刻系统。
它采用*技术，实现了高速、高精度和高可靠性。
该系统基于50kV加速电压的可变形状电子束和步进重复平台系统。
通过利用步进重复绘制方法的优势，并将其与绘制剂量调制和叠加绘制等功能相结合，它可以处理传统掩模/光罩图案所需的各种校正。
国内外的专营口罩店和零售商口罩店。
| 连接准确性 | ≤±3.5nm |
|---|---|
| 叠加精度 | ≤±5nm |
日本电子株式会社（JEOL Ltd.） 是一家 1949 年成立于日本的科学仪器制造商，全球员工约 3731 人，年销售额 1793 亿日元，*为 jeol.com。
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