OHKURA大仓卧式扩散炉DF1000 热处理系统玉崎科学原装供应
卧式扩散炉是进行半导体制造工艺中的一环，即热处理的系统。其结构是水平组装加热器室，并堆叠2-4层，有效利用了纵向空间，热处理的种类包括扩散、氧化等，处理温度也由低温至高温不等，使用本公司生产的高性能控制器，可应对各种工艺需求。
特点
■均热性提高
通过将与使用温度相应的加热器和本公司生产的高性能控制器结合使用，实现更加稳定的温度控制和均热长度。
■支持100-200mm晶圆
扩散炉系统直径为φ100mm-φ200mm，可以根据客户的要求提供合适的扩散炉。
■简单的维护性
即使其他加热器正在升温，也可安全更换热电偶以及加热器。
■
精选所用部件，采用实用结构，实现格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到*小，因此也能用于更新老旧且空间有限的系统。
| 晶圆尺寸 | ～φ200mm | ～φ150mm | ～φ125mm | ～φ100mm |
|---|---|---|---|---|
|
炉身尺寸 *1 |
W 2650mm× D 1200mm× H 2580mm |
W 2300mm× D 850mm× H 2395mm |
W 2180mm× D 850mm× H 2395mm |
W 1850mm× D 700mm× H 2150mm |
|
均热长度 ＊2 |
900mm±1.0℃ （No.GAS） |
900mm±1.0℃ （No.GAS） |
800mm±1.0℃ （No.GAS） |
800mm±1.0℃ （No.GAS） |
| 温度范围 | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ |
| 温度控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 |
| 运输类（选购项） |
晶舟电梯 软件加载器 |
软件加载器 晶舟电梯 软件加载器 |
软件加载器 晶舟电梯 晶舟加载器、软件加载器 |
晶舟加载器 |
OHKURA大仓供货采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
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