特征

■流量范围广
我们的流量范围广，从*小5SCCM到*400SLM。
■高可靠性
通过集成各电路并优化机械系统，尽管尺寸较小，但仍实现了高可靠性。
■软启动功能
内置软启动功能具有线性启动时间，*长可调节70秒，并以三种模式运行（更改设置时、打开电源时以及外部阀门关闭和打开时）。
■高稳定性
温度稳定性为0.05%/℃，泄漏标准高达1×10 -10 Pa·m 3
/s（He）。 *请参阅规格表了解规格。