ORAY 东丽 LD‑450‑C 属于 LD‑450 系列分体式通信型氧化锆氧分析仪,由壁挂式转换器主机搭配 SD 直插式氧化锆探头组成,采用氧化锆浓差电池原理,以大气作为参比气,可直接插入真空腔体、炉体内部原位检测,无需外置采样泵,支持真空环境测量,专为半导体、锂电、热处理等工艺在线氧监测设计。
LD‑450‑C 为RS‑232C 通信输出版本,区别于模拟输出的 LD‑450‑T,主打数字通讯,便于上位机、PLC 系统做数据采集与工艺联网管控。设备测量范围 0.001ppm‑100vol% O₂,支持自动量程切换,可实现微量氧到高浓度氧全覆盖检测;T90 响应速度快,预热时间≤6 分钟,适合工艺气氛快速变化工况。转换器为薄型壁挂结构,尺寸 185×155×40 mm,重量约 1.2 kg,可安装于控制柜内;SD 探头提供 NW16/25/40 真空法兰、R3/8 螺纹多种安装接口,探头与主机标准线缆 2 m,*可延长至 10 m,方便远距离布局。
主机配备4 位 LED 数字显示,面板按键可完成量程、报警阈值设置;具备多路继电器报警输出,包含浓度高低报警、设备故障 FAIL、预热就绪 RDY 信号,出现传感器异常、加热故障时可输出告警信号,实现工艺安全联锁保护。供电为 DC24V,适配工业控制柜供电环境,整机满足 CE、RoHS 合规要求。
该机型广泛用于半导体CVD/PVD、扩散炉、退火设备,实时监测腔体残余氧;锂电负极烧结、功率半导体热处理炉气氛管控;真空镀膜设备、手套箱惰性气氛监测;也适配粉末冶金、回流焊等工业炉体氧含量监控。
使 用时被测样气严禁含有氟、氯、硫化物、硅类、可燃气体及油污水汽,避免损坏氧化锆传感元件;探头需匹配腔体法兰规格,安装时做好密封,防止漏气影响测量精度。LD‑450‑C凭借真空直插、数字通讯、快速响应的特点,为密闭工艺腔体提供稳定可靠的氧浓度在线监测方案。
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