FLUORO福乐研发小型洁净干式负压设备，FV 系列无油隔膜真空泵面向无尘产线与精密实验室，主打无油洁净、防静电、低维护，主要用于元器件真空拾取、样品抽滤、溶剂浓缩，为半导体、光电、理化实验室提供洁净真空气源。

整机采用电磁直驱隔膜结构，泵腔内部无润滑油，不存在油雾回流污染风险，满足高等级无尘环境使用要求。隔膜表面带有 PTFE 特氟龙涂层，耐受乙醇、丙酮以及弱酸弱碱类蒸汽，适配化学样品处理工况。内部无齿轮等摩擦部件，机械损耗小，支持 24 小时长时间连续运行，连续设计寿命可达 8760 小时以上，日常维护以更换滤芯为主，运维工作量低。

进气、排气两端均搭载 HEPA 高效过滤器，对 0.3μm 颗粒物过滤效率 99.97%，进气端阻挡粉尘、液滴进入泵体，保护隔膜阀片；排气端过滤排出气体，避免二次污染。机身设置透明观察视窗，无需拆机就可以直观观察滤芯脏污程度，方便规划更换周期。设备外壳采用防静电尼龙材质，可搭配导电吸嘴、导电管路，构建完整 ESD 防静电体系，规避静电放电对芯片、晶圆等敏感器件造成损伤。

设备运行噪音低，机身小巧轻便，无需外接空压机、储气罐，接通电源即可工作，既可以桌面摆放，也可嵌入自动化设备、手套箱内部。负压支持无级调节，可根据工件重量、材质调整吸力，防止薄片工件被压伤或者吸附脱落。

日本FLUORO福乐 高真空无油隔膜真空泵