MIYUKI 美幸辉 BAR‑J100｜JIS DN100 经济型电动伺服蝶阀（镀膜 / 锂电常规工艺）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

负责人林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ *（www.shashinkagaku.com）及详细办公地址（广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层）

型号：BAR‑J100，JIS DN100（100A）电动伺服蝶阀，可选型‑B 带电磁抱闸版本

BAR 系列经济型伺服蝶阀，DC24V 伺服电机直驱，蝶板式结构，高，0‑90° 全行程无级开度调节；相比 GAR 闸阀成本更低，适合工业 PVD 镀膜、锂电脱气、中试等离子腔体常规压力闭环控制，兼顾调压性能与设备成本，广泛用于非*颗粒要求的量产设备。

型号释义

可定制：ISO‑F、KF、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况。

伺服直驱蝶板式结构

DC24V 伺服电机直驱蝶板，无齿轮间隙，0‑90° 角度连续可调；蝶板始终处于气流通道内部；结构紧凑，整机体积小，成本优于 GAR 闸阀系列；减少滑动摩擦部件，颗粒控制满足工业常规工艺，不及 GAR 闸板等级。
抱闸选项说明

⚠️阀体支持烘烤除气；伺服电机头部环境温度≤40℃，严禁烘烤电机组件。

表格

项目	BAR‑J100 JIS DN100 参数
公称通径	DN100（100A），JIS B2290 法兰
压力工作区间	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动供电	DC24V 伺服电机直驱；‑B 版本带电磁抱闸断电锁阀位
开度调节	0‑90° 连续无级角度调节，阀位反馈信号输出
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚抗等离子腐蚀密封
烘烤温度	阀体* 150℃；伺服电机头部≤40℃，不可烘烤
机械寿命	≥100 万次循环，低震动低噪音
电气信号	0‑10V/4‑20mA 模拟量；RS485 通讯；全开全关到位信号输出
配套控制器	MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP

工业 PVD 磁控溅射、光学镀膜腔体

搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定常规镀膜工艺压力；适合面板、普通光学镀膜，对颗粒要求不是*严苛的工况；相比 GAR 闸阀，降低设备采购成本。

⚠️8/12 寸半导体*制程量产，极低颗粒要求，优先选用GAR‑J100B 闸板式伺服阀。

系统组成：BAR‑J100 (‑B) 电动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规

工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出控制信号驱动 BAR‑J100 伺服电机调整蝶板角度 →动态补偿进气、泵抽扰动，锁定工艺压力。

MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，RS485 对接上位 PLC，适配自动化产线流程。

表格

项目	BAR‑J100‑B（电动蝶阀带抱闸）	G‑J100（气动伺服蝶阀）	GAR‑J100B（电动伺服闸阀）
驱动	DC24V 伺服电机，‑B 电磁抱闸	0.4‑0.6MPa 压缩空气驱动	DC24V 伺服电机，‑B 电磁抱闸
失电 / 失气状态	断电抱闸保持阀位	失气弹簧直接全关	断电抱闸保持阀位
结构	蝶板式，蝶板留在流道内	蝶板式，蝶板留在流道内	闸板式，全开闸板退出流道，颗粒*
颗粒等级	工业级，中等	工业级，中等	半导体量产极低颗粒
适用定位	镀膜、锂电常规量产设备	实验室、中试，气源充足	半导体刻蚀、CVD 高端产线
布线	DC24V 供电 + 信号线缆	仅需压缩空气气源	DC24V 供电 + 信号线缆
成本	中等	中等	较高

供货状态：BAR‑J100 为 BAR 系列流通主力经济型型号，部分现货；‑B 抱闸版本、CF 法兰、Kalrez 密封为定制，日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑：不可与普通开关蝶阀 B‑J100 混淆；B‑J100 仅开关，无开度调节，不能做闭环压力控制；标准 BAR‑J100 无抱闸，需要断电锁止必须‑B 后缀。

提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。