原装现货供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
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N:KF (NW) 快卸法兰
I:ISO‑F 法兰
J:JIS 法兰
C:CF 刀口法兰
例:B‑C160、BH‑I250、G‑J160
动作模式:0° 全关 / 90° 全开,只有开关,无中间调节开度,双作用气缸,可选弹簧复位单作用
结构:齿轮齿条传动,气缸自带末端气垫缓冲,降低启闭冲击噪音;阀体薄,流导高,抽气速度快;无流向限制,任意角度安装(水平 / 垂直 / 倾斜均可)
适用:普通真空管路通断、真空炉、镀膜机粗抽管路、真空机组隔断;PLC 自动化控制,选配微动开关输出开 / 关信号
动作模式:三工位:0° 全关 → 0‑45° 小开度慢抽 / 慢破空 →90° 全开快抽;45° 开度可机械限位自定义设定,单阀替代主阀 + 旁路针阀,简化管路布局
核心优势:破真空时小开度缓慢进气,抑制气流冲击,保护薄膜、晶圆、精密试样,避免工件被气流吹损;大口径设备尤其 BH 系列
适用:光学镀膜、锂电脱气腔体、溅射设备、对气流冲击敏感工艺腔体
动作模式:0‑90° 全行程连续无级开度调节,仅依靠洁净压缩空气驱动气动伺服机构,不需要伺服电机;内置阀位反馈,可外接 MGCS‑11 控制器做 PID 闭环压力控制,稳定腔体真空压力
响应速度快,开度锁定稳定,大通导;球面多点压紧双向密封,正反向压差均可保持密封性能
适用:镀膜工艺压力调节、中小型腔体稳压、科研实验真空调压;不想布置电机布线的设备
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动方式 | 齿轮齿条气动;气源压力 0.4‑0.6MPaG,洁净干燥无油压缩空气 |
| 压力工作区间 | 10⁵Pa(常压) ~ 10⁻⁵Pa(高真空) |
| 泄漏率 | 阀体内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;阀杆轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304,镜面电解抛光,低放气低发尘 |
| 密封件 | 标准 FKM 氟橡胶;腐蚀 / 高温工况升级 Kalrez 全氟醚密封圈 |
| 耐温 | FKM:‑25~120℃;Kalrez:‑30~150℃;阀体*烘烤 150℃ |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 法兰规格 | KF (NW)/ISO‑F/JIS/CF;口径 DN25‑DN400 |
| 电气选配 | 微动开关 NPN/PNP,阀门到位信号输出对接 PLC |
| 工况场景 | 系列 | 代表型号 |
|---|---|---|
| 普通管路开关通断,追求 | B 系列 | B‑C160、B‑C200 |
| 腔体破真空需要慢泄压,保护工件,防止冲料 | BH 系列 | BH‑I160、BH‑J250 |
| 需要连续调节真空压力,不想用电动机,气源充足 | G 系列 | G‑J100、G‑J160,搭配 MGCS‑11 控制器 |
现货库存:B/BH/G 国内流通主流型号原装现货,可直接出库;
订货交期:特殊法兰、特殊密封、大口径型号日本原厂订货;可提供原厂检测报告、氦检报告、说明书;
成套方案:可配套 MGCS‑11 真空压力控制器,实现阀门 + 压力闭环整套系统;
技术支持:选型核对、工况确认,支持批量设备配套采购。
提示:市场存在仿品、翻新阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂资料。
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