NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
北崎10年，日本会社20年，一级授权代理及优势如下：
备件设备类：
1、SIBATA柴田（代理）——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 （部份备库销售）
2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉
3、NEWKON新光（代理）——打孔机、钢印机
4、MUSASHI武藏——点胶机
5、KAIJO凯捷——清洗机
6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪
7、EYELA东京理化——旋转蒸发仪
8、NIDEC尼得科（代理）——减速机
9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机
10、OTSUKAEL大塚（代理）——光学膜厚仪、粒度仪
11、TSUBAKI椿本（代理）——链条、链轮
12、NIKKATO日陶（代理）——陶瓷球、粉末
13、ITOH伊藤（代理）——球磨机 粉碎机
14、EBARA荏原（代理）——真空泵
15、NFK南国工业（代理）——真空软管、波纹管、伸缩管接头
16、HEIDON新东（代理）——搅拌机、摩擦计
17、RIYYO理阳（代理）——离心机
18、KAKUHUNTER写真化学（代理）——行星式脱泡搅拌机
19、WATSON沃森（代理）——吸头、移液器
20、ESSGES法国宜格斯（代理）——试验台定制、通风柜
21、PFERD德国马圈（代理）——锉刀、铣削工具、刀具类
22、NPM日脉（代理）——运动控制芯片、旋转（直线）步进马达
23、MIYUKI 美幸辉（代理）——伺服调节蝶阀、气动蝶阀、真空闸阀、气动调节器
仪器仪表类：
1、SANKO山高（代理）——膜厚仪、金属探测仪
2、TOKI东机产业（代理）——粘度计
3、SONIC索尼克（代理）——超声波风速仪、气体及液体流量计 （备库销售）
4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5、DIT东日技研（代理）——静电消除器、离子风棒
6、SUGIYAMA杉山电机（代理）——下死点检测仪、误送检测装置 （备库销售）
7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8、TORAY东丽（代理）——氧气分析仪、换能器
9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 （备库销售）
11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 （部份备库销售）
12、USHIO牛尾——照度计 （备库销售）
13、ORC欧阿希——照度计 （备库销售）
14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 （备库销售）
15、YASKAWA安川——磁性开关 （备库销售）
16、RKC理化——热电偶、温控器 （备库销售）
17、EXCEL——听音机 （备库销售）
18、MATSUO松尾（代理）——温度传感器、陶瓷传感器
19、ANALYZER*热研（代理）——氧气分析仪
20、ATAGO爱拓（代理）——浓度计、糖度计、盐度计
21、TEMTOP美国乐控（代理）——颗粒物传感器、粒子计数器、气溶胶监测仪
22、OHKURA大仓（代理）——温控器、无纸记录仪、水质测量仪、信号转换器、液位计
光源类：
1、EYE岩崎（代理)——UV灯、照度计 （备库销售）
2、SEN日森（代理）——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 （备库销售）
3、CCS晰写速（代理）——环形光源、面光源、光源箱 （部份光源可提供试样）
4、REVOX莱宝克斯（代理）——光源箱
5、SERIC索莱克（代理）——人工太阳照明灯
6、HAYASHI林时计（代理）——光源
7、POLARION普拉瑞——强光灯
8、FUNATECH船越龙——目视检查灯 （备库销售）
9、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
10、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
11、YAMADA依梦达——光源 （备库销售）
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