| 产品名称 | 化学液体监测系统 | ||||
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| 模型 | CS-1000 | ||||
| 测量项目 | 化学浓度、电导率、pH值 | ||||
| 测量原理 | 吸收光谱法、双电极电导率法、玻璃电极法 | ||||
| 目标化学品 | 用于半导体制造工艺的多组分化学品（详情请联系我们） | ||||
| 外部尺寸 | 700（宽）x 610（深）x 1640（高）毫米（不含突出部分） | ||||
| 大量的 | 约200公斤 | ||||
| 湿润材料 |
柜体（PFA、PTFE） 吸收光度计（PFA、PTFE、石英、Kalrez™） 电导率仪（PFA、碳、Kalrez™） pH计 - 带排水口（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT） *Karlez™是杜邦公司的商标。 |
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| 标准 | CE、KC、FCC规则第15部分、UKCA、SEMI S2 | ||||
| 环境温度 | 20 至 30°C（室温无剧烈变化，每小时变化幅度在 ±0.5°C 以内） |
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| 环境湿度 | 相对湿度40%至70%（无冷凝） |
| 电源 | 交流电 190-240V（单相），50/60Hz |
| 功耗 | 约 355VA（不包括启动时的瞬态电流） |
| 沟通 |
模拟输出：4-20mA，串行输入/输出：RS-485 Modbus (RTU)，并行输入/输出 * 但是，当由于设备故障导致测量值未更新时，输出将固定为 1.5mA |
| 消耗品 |
可由客户或我方服务工程师更换的部件： 卤素灯（寿命：约 1 年） 、氘灯（寿命：约 6 个月） ；试剂：pH 4（符合 JIS 标准）、pH 7（符合 JIS 标准）、氯化钾（3.33 mol AgCl 饱和溶液）（更换周期：约 6 个月）。 |
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