VAT徽拓 16.2 HV 摆锤隔离阀 进口

VAT徽拓 16.2 HV 摆锤隔离阀 进口

16.2 HV 摆动式隔离阀兼具可靠的隔离性能与低颗粒数及低颗粒激活特性。其*的颗粒控制性能得益于极为平滑的启闭运动。
它非常适合用于蒸发器和溅射等恶劣工况下的隔离需求。16.2型阀门提供三种配置：三位置气动单作用带关闭弹簧，或标准气动单作用带关闭弹簧。
凭借其的分体式结构，可在无需拆卸管道连接或工艺腔室连接的情况下进行维护。其纤薄的外形设计使16.2能够直接安装于工艺腔室内，从而省去通常在腔室—阀门—泵之间所需的额外空间。
凭借其坚固耐用的结构以及丰富的设计选项，16.2系列能够轻松集成到各类真空工艺中。
16.2系列已在世界各地的数百套批量与在线生产系统中投入使用，适用于多种工艺工况，其全方位的*性能已得到充分验证。

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