GH-C63 是日本美幸辉 (MIYUKI) 公司生产的一款紧凑型高真空气动闸阀。它属于GH系列，通径为DN63，是该系列中结构更为紧凑小巧的型号，专为空间有限但对密封性要求严苛的高真空环境而设计。

核心技术规格

核心特点

• 紧凑型设计，节省空间：GH-C63 搭载了经过优化的短型气动执行器，整体布局紧凑，非常适合安装在空间有限的高真空腔体及管路系统中。它支持任意角度安装，可以适应多样化的紧凑管路布局。

• 高密封与洁净性能：

  • 高密封性：阀座采用等间距压球式密封机构，阀门关闭时各密封点受力均衡，即便在反向压力或压力波动下也能保持稳定密封。

  • 低释气、高洁净：阀体采用不锈钢真空钎焊工艺整体加工成型，无拼接缝隙与气体滞留死角，从结构上减少了气体吸附与析出。产品在高等级无尘室中完成组装和检查，运行过程中不产生细小杂质，适用于对洁净度有严苛要求的场合。

• 安全与缓冲设计：

  • 推力加倍：气缸设计巧妙，在关闭时能产生双倍推力，确保阀门紧密关闭。

  • 气垫减震：气缸内部设有气垫缓冲结构，能有效缓解行程末端的机械撞击，降低噪音并减少磨损。

• 灵活的控制功能：与GH-I100类似，GH-C63也可通过一个阀门同时实现主排气和流量调节。它配备副气缸，允许用户根据需要任意设置阀门开度，在全行程范围内调节开启角度。

应用场景

GH-C63 专为要求苛刻的高真空与洁净环境设计

• 半导体制造：刻蚀、沉积（PVD/CVD）等工艺设备。

• 光学镀膜：真空镀膜设备。

• 科研与航天：高真空实验装置。

• 石油、化工、电力：适用于高压、大口径管道系统。