| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 抽气速度 | 50Hz：250 L/min；60Hz：300 L/min |
| 极限压力 | ≤1.6 Pa |
| 电机功率 | 400W |
| 供电规格 | 单相 100/200V ｜三相 200/230V（机型区分） |
| 进气接口 | KF25 |
| 排气接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 264(W) × 397(L) × 338(H) mm |
| 整机重量 | 25 kg |
| 冷却方式 | 风冷（自然冷却） |
| 噪音 | ≤52 dB(A) |
| 标配配置 | 运行计时表、自动复位热保护器、Air Flush（AF 空气吹扫接口） |
| 环境条件 | 5～40℃室内使用 |
| CE、RoHS、cTUVus |
精密分析仪器：氦质谱检漏仪、SEM 扫描电镜、质谱设备、表面分析仪（分子泵前级泵）
半导体 / 光学小型设备：小型镀膜机、Load-Lock 真空锁仓、晶圆载台预抽
科研实验室：小型真空腔体、样品脱气、真空干燥、气体回收装置
小型等离子设备、精密真空测试系统
工况限制
严禁抽吸大量粉尘、液态水、有机溶剂蒸汽、卤素、腐蚀性气体；仅可承受微量水汽，含水工况必须持续开启 AF 吹扫。
进气前端建议加装粉尘过滤器，固体颗粒会刮伤涡旋密封面，造成真空性能衰减。
属于干式真空泵，禁止加注任何真空油（SMR-100 等油品不能使用）。
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
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京公网安备 11010802023672号
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