日本爱发科ULVAC PST-100CX 溅射离子泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC PST-100CX 溅射离子泵 深圳京都玉崎现货

分析仪器/加速器无振动高真空怎么选？ULVAC PST-100CX，极限压力10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa，无运动部件零振动，精密分析/加速器

开篇：分子泵振动影响分析精度？离子泵才是无振动高真空的*选择

加速器、电子显微镜、电子束曝光装置、对振动敏感的分析仪器——这些场景需要的是高真空（10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa），同时*不允许振动。涡轮分子泵虽然能抽到高真空，但高速旋转的叶片会产生微振动，对于精密分析仪器来说，这种振动足以影响测量精度。

更隐蔽的坑：溅射离子泵的工作原理是通过溅射活性钛的吸气作用来抽气，完全没有旋转部件。它不像分子泵那样需要高速旋转，因此零振动、零噪音、无油。但很多工程师不了解离子泵和分子泵的本质区别，在需要无振动的高真空场景下选了分子泵，结果振动影响设备精度。选型时不看泵的结构原理，只看抽速和极限压力，买回去才发现问题。

ULVAC PST系列溅射离子泵，通过*元件和优化磁场设计，改善在高真空和极高真空下的抽气特性。完全没有运动部件，适用于对振动敏感的精密分析仪和加速器。极限压力可达10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa，惰性气体增强型（AU/AX型）对氩气的抽速可达传统泵的两倍。

全系列核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

注1：抽速为再生抽气速度，使用GST-07L-B控制器时的数值。
注2：CU/AU型极限压力为10⁻⁹Pa，CXII/AXII型极限压力为10⁻¹⁰Pa。
注3：CU/CX型适用于活性气体（标准型），AU/AX型为惰性气体增强型，对氩气抽速为传统泵的两倍。

一、PST-030CU / 030AU：紧凑型离子泵，小型分析仪器/加速器标配

PST-030CU 和 PST-030AU 是PST系列*小型，N₂抽速 0.03 m³/s（CU型），Ar抽速 0.013 m³/s（AU型），极限压力 10⁻⁹ Pa。

• 重量仅 9.5 kg，PST系列*轻

• 外形尺寸 103×183×187 mm，*紧凑

• 内部容积 0.67×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF070

• 施加电压 DC+7.5kV

• 烘烤温度 250℃

• 控制器：GST-07L-B

PST-030CU vs PST-030AU 核心区别：

• CU型：标准型，适用于活性气体（N₂、O₂等）

• AU型：惰性气体增强型，适用于稀有气体（Ar等），对氩气抽速是ULVAC传统泵的两倍

适合谁：小型加速器、电子显微镜、电子束曝光装置、对振动敏感的分析装置。

二、PST-050CU / 050AU：中型离子泵主力，抽速提升50%

PST-050CU 和 PST-050AU，N₂抽速 0.045 m³/s（CU型），Ar抽速 0.016 m³/s（AU型），极限压力 10⁻⁹ Pa。抽速比030型提升50%。

• 重量 12 kg

• 外形尺寸 153×204×241 mm

• 内部容积 1.3×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF114

• 加热器：CU型 AC200V, 300W；AU型 AC200V, 320W

适合谁：中型加速器、电子显微镜、分析仪器、高真空实验系统。

三、PST-100CX / 100AX：大抽速离子泵，N₂抽速0.10m³/s

PST-100CX 和 PST-100AX，N₂抽速 0.10 m³/s（CX型），Ar抽速 0.05 m³/s（AX型），极限压力 10⁻⁹ Pa。抽速是050型的两倍以上。

• 重量 37 kg

• 外形尺寸 155×336×340 mm

• 内部容积 3.3×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF152

• 加热器：AC200V, 320W

适合谁：大型加速器、大型分析仪器、同步辐射装置、高真空大型系统。

四、PST-110AU：大抽速单AU元件型

PST-110AU，N₂抽速 0.11 m³/s，极限压力 10⁻⁹ Pa。采用单AU元件设计，专为惰性气体增强需求设计。

• 内部容积 6.5×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF152

• 工作压力值 <4.5×10⁻³Pa

适合谁：需要大抽速且含惰性气体的分析仪器、加速器系统。

五、PST-200CXII / 200AXII：极限压力10⁻¹⁰Pa级

PST-200CXII 和 PST-200AXII，极限压力 10⁻¹⁰ Pa，比030/050/100系列低一个数量级。N₂抽速 0.20 m³/s（CXII型），Ar抽速 0.02 m³/s（AXII型）。

• CXII型：适用于活性气体，采用CX元件×2

• AXII型：适用于惰性气体，采用AX元件×2

• 内部容积 11×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF203

• 加热器：AC200V, 600W

适合谁：需要10⁻¹⁰Pa级极限压力的大型加速器、同步辐射装置、极高真空研究系统。

六、PST-400CXII / 400AXII：*号离子泵，N₂抽速0.36m³/s

PST-400CXII 和 PST-400AXII 是PST系列*号，N₂抽速 0.36 m³/s（CXII型），Ar抽速 0.19 m³/s（AXII型），极限压力 10⁻¹⁰ Pa。

• CXII型：采用CX元件×4

• AXII型：采用AX元件×4

• 内部容积 14×10⁻³m³

• 连接法兰 ICF203

• 加热器：AC200V, 800W

适合谁：大型加速器、大型同步辐射装置、极高真空大型系统。

七、PST系列共同优势：零振动 + 零噪音 + 无油 + 高真空

PST系列是ULVAC溅射离子泵，通过溅射活性钛的吸气作用来抽气。六大核心优势：

• 零振动、零噪音：完全没有运动部件，不像分子泵有高速旋转的叶片，是对振动敏感的分析仪器和加速器的*选择

• 无油：完全无油运行，不会产生碳氢化合物污染

• 高真空：极限压力可达 10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa

• 短时间达到高真空：能在短时间内抽至高真空

• *的启动特性：在高真空范围内持续放电，启动特性*

• 惰性气体增强型（AU/AX型） ：对氩气的抽速是ULVAC传统泵的两倍

八、工程师选型避坑：PST系列怎么选

选型四步法：

1. 确认是否需要离子泵：需要无振动、无噪音、无油的高真空（10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa）→ PST系列；振动可接受且预算有限 → 可考虑涡轮分子泵

2. 确认目标气体：主要抽除活性气体（N₂、O₂等）→ CU/CX/CXII型（标准型）；主要抽除惰性气体（Ar等）→ AU/AX/AXII型（惰性气体增强型，抽速翻倍）

3. 算抽速：小型设备 → PST-030（0.03 m³/s）；中型 → PST-050/100（0.045~0.10 m³/s）；大型 → PST-200/400（0.20~0.36 m³/s）

4. 确认极限压力要求：10⁻⁹ Pa级 → CU/AU系列；10⁻¹⁰ Pa级 → CXII/AXII系列

*不能做的事：

• 把离子泵当成分子泵的替代品用在需要大抽速的场景——离子泵抽速远小于同口径分子泵

• 在含大量惰性气体的场景选标准型（CU/CX）——应选AU/AX型（惰性气体抽速翻倍）

• 忽视控制器匹配——PST系列需配合GST-07L-B控制器使用

• 忽视烘烤——PST系列*烘烤温度250℃，烘烤是达到极限压力的必要条件

• 在活性气体和惰性气体混合的场景选错型号——AX型可以同时抽除活性气体和惰性气体，但CU型对惰性气体抽速极低

九、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：PST系列 订货4~6周

• 配套一站式采购：GST-07L-B控制器、ICF法兰管路、烘烤加热器、高真空计

• 技术支持：免费提供选型建议、抽速计算、安装指导、烘烤工艺指导

十、落地适配全场景

• 加速器：粒子加速器高真空系统

• 电子显微镜：TEM、SEM等高精度显微镜

• 电子束曝光装置：电子束光刻、电子束描绘装置

• 对振动敏感的分析装置：表面分析仪、质谱仪、扫描探针显微镜

• 极・高真空环境：任何需要10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa且无振动的场景

十一、结尾转化

分析仪器/加速器无振动高真空选型怕离子泵和分子泵分不清、怕惰性气体抽速不够？

ULVAC PST-030CU / 030AU / 050CU / 050AU / 100CX / 100AX / 110AU / 200CXII / 200AXII / 400CXII / 400AXII 溅射离子泵系列，深圳京都玉崎订货直发，零振动零噪音无油，极限压力10⁻⁹~10⁻¹⁰Pa，工程师可协助出具《PST系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型（加速器/分析仪器/电子显微镜）+ 目标真空度 + 主要气体成分（活性气体/惰性气体），我们免费出具选型建议！