日本爱发科ULVAC CRYO-U22H 低温泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CRYO-U22H 低温泵 深圳京都玉崎现货

溅射/成膜/空间模拟高真空怎么选？ULVAC CRYO-U22H低温泵，N₂抽速450~28000L/s，FPD/半导体/光学/研发

开篇：分子泵抽不动的气体，低温泵才是正解

溅射镀膜、FPD面板制造、半导体工艺、空间环境模拟——这些场景需要的是高真空（10⁻⁷ Pa级） 和大抽速，尤其对于水蒸气、氢气等分子泵难以高效抽除的气体，低温泵具有压倒性优势。很多工程师选型时只盯着分子泵，遇到水蒸气抽不动、氢气抽速不够就束手无策。

更隐蔽的坑：低温泵的工作原理是通过极低温表面冷凝来捕集气体，不同气体的抽速差异极大。CRYO-U系列对水蒸气的抽速是氮气的3倍以上，对氢气的抽速也远同口径分子泵。选型时不看目标气体的抽速，只看氮气抽速，买回去发现水蒸气抽速不够、工艺压力下不去。还有，CRYO-U系列一台压缩机*多可驱动四台低温泵，选型时不考虑多泵共用压缩机的方案，成本直接翻倍。

ULVAC CRYO-U系列低温泵，采用2段式GM制冷机，能够制造出高真空乃至高真空。根据FPD、半导体、电子设备、光学、研究开发等应用领域的不同，提供从小型到大型的广泛产品阵容。抽速覆盖氮气450~28000 L/s，极限压力10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr）。

全系列核心型号参数对比

数据来源：ULVAC*（ulvac.com.vn、ULVAC SHOWCASE、ULVAC CRYOGENICS）

注1：极限压力均为10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr） 
注2：CRYO-U8HSP为溅射镀膜型，CRYO-U12HSP氩气抽速约为标准型号的2倍，氢气抽速约为1.5倍
注3：CRYO-U8H-U与CTI的CT-8兼容
注4：CRYO-U30H、U22H出口需日本经济产业省许可

一、CRYO-U4H / U6H：小型低温泵，研发/实验室/小型溅射标配

CRYO-U4H 是CRYO-U系列*小型，氮气抽速 450 L/s，重量仅 14.5 kg。CRYO-U6H 氮气抽速 750 L/s，重量 19 kg。

• 极限压力 10⁻⁷ Pa

• 对水蒸气抽速分别达 1,100 L/s 和 2,100 L/s

• 一台压缩机*多可驱动四台低温泵

• 特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺

• 轻量·紧凑，适用于实验室和研究室的小型真空设备

适合谁：小型溅射设备、研发实验室、表面分析仪器、小型电子器件制造。

二、CRYO-U8H / U8H-U / U8HL / U8HSP：8英寸主力，溅射工艺黄金选择

CRYO-U8H 氮气抽速 1,700 L/s，氢气 2,700 L/s，水蒸气 4,000 L/s。CRYO-U8H-U 与CTI的CT-8兼容，便于旧设备替换。CRYO-U8HSP 为溅射镀膜型，氢气抽速达 3,200 L/s。

• 重量约 20 kg

• 冷却下降时间 100/90 min（50/60Hz） 

• 维护周期 16,000小时

• 压缩机：C10系列

适合谁：半导体溅射设备、FPD制造、光学镀膜、一般真空工艺。

三、CRYO-U10H / U12H / U12HL / U12HSP：中大型低温泵，大抽速主力

CRYO-U10H 氮气抽速 2,400 L/s。CRYO-U12H 氮气抽速 4,000 L/s，水蒸气 9,500 L/s。CRYO-U12HSP 为溅射镀膜型——氩气抽速约为标准型号的2倍，氢气抽速约1.5倍。

• CRYO-U12HSP氩气抽速3,400 L/s，远标准型号

• 有效延长再生间隔时间，提高装置运转率

• 压缩机：C30VRT

• 维护周期 16,000小时

适合谁：中型溅射设备、FPD面板制造、半导体工艺、真空镀膜。

四、CRYO-U16 / U16P：大型低温泵，16英寸口径高负荷

CRYO-U16 氮气抽速 5,000 L/s，氢气 10,000 L/s，水蒸气 16,000 L/s。CRYO-U16P 是CRYO-U16的高负荷版本。

• *适用于中、大型设备及批量型大型成膜设备

• 热负荷能力强

• 吸气口法兰：UVG-400

• 压缩机：C30VRT

• 重量 61 kg

• 维护周期 16,000小时

适合谁：大型溅射设备、批量型成膜设备、光学镀膜生产线。

五、CRYO-U20P / U20H / U22P / U22H / U22WB：大型低温泵

CRYO-U20P / U20H 氮气抽速 10,000 L/s，氢气 18,000 L/s。

CRYO-U22P 氮气抽速 11,500 L/s，水蒸气 39,000 L/s。CRYO-U22WB 氮气抽速 13,000 L/s，氢气 16,500 L/s，氩气 11,000 L/s。

• CRYO-U22P重量 115 kg

• CRYO-U22WB重量 125 kg

• 吸气口法兰：UVG-550

• 适用于大型成膜生产设备

• CRYO-U22H出口需日本经济产业省许可

适合谁：大型FPD生产线、大型成膜设备、高吞吐量工业真空系统。

六、CRYO-U30H：*号低温泵，工业级高抽速

CRYO-U30H 是CRYO-U系列*号，氮气抽速 28,000 L/s，氢气 43,000 L/s，水蒸气 70,000 L/s。

• 极限压力 10⁻⁷ Pa

• 吸气口法兰：VG-750

• 压缩机：C30VRT × 2台

• 重量 175 kg

• 适用于大型成膜系统、太空模拟舱等

• 出口需日本经济产业省许可

适合谁：大型成膜系统、太空环境模拟舱、半导体大型产线、研究机构大型真空系统。

七、CRYO-U系列共同优势：高真空 + 大抽速 + 多泵驱动

CRYO-U系列是ULVAC采用2段式GM制冷机的低温泵，能够制造出高真空乃至高真空。六大核心优势：

• 高真空：极限压力 10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr） 

• 对水/氢抽速极大：对水蒸气的抽速是氮气的3倍以上，对氢气抽速也远同口径分子泵

• 一台压缩机驱动多台泵：一台压缩机*多可驱动四台低温泵，大幅降低系统成本

• 高抽速提高生产率：高抽速有助于提高抽气效率和生产率

• 口径覆盖4~30英寸：从小型研发设备到大型工业产线，全场景覆盖

• 维护周期长：标准维护周期 16,000小时

• 安装方位灵活：CRYO-U系列（除U30、U22以外）因使用小型氦气制冷机，可在任何方位进行安装

八、工程师选型避坑：CRYO-U系列怎么选

选型四步法：

1. 确认目标气体：需要高效抽除水蒸气、氢气 → 低温泵是比分子泵更优的选择；只需要抽氮气/氩气 → 分子泵可能足够

2. 算抽速：小型设备/研发 → U4H/U6H（450~750 L/s）；中型溅射 → U8H/U10H（1,700~2,400 L/s）；大型成膜 → U12H/U16（4,000~5,000 L/s）；大型产线 → U20P/U22WB/U30H（10,000~28,000 L/s）

3. 确认型号：溅射镀膜工艺 → 优先考虑 U8HSP 或 U12HSP（氩气抽速翻倍、氢气抽速提升50%）

4. 确认压缩机配置：一台压缩机*多可驱动四台泵——多泵系统可共用压缩机，显著降低成本

*不能做的事：

• 把低温泵当分子泵用——工作原理完全不同，低温泵需要定期再生

• 忽视再生周期——低温泵捕集气体后会饱和，需要定期加热再生，否则抽速下降

• 氮气抽速够用就以为水蒸气也够——水蒸气抽速是氮气的3倍以上，选型时一定要看目标气体的抽速

• 单泵配单压缩机——多泵系统应评估共用压缩机的方案，节省成本

• U30H/U22H出口忽视许可——需日本经济产业省许可

九、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：CRYO-U系列 订货4~6周

• 配套一站式采购：压缩机单元（C10/C30VRT/C30PVRT/C30PMVRT）、移动托盘（选配）、KF/ISO法兰管路、再生系统配件

• 技术支持：免费提供选型建议、抽速计算、压缩机配置方案、安装指导、再生周期评估

十、落地适配全场景

• 半导体制造：溅射工艺、刻蚀工艺

• FPD面板制造：平板显示器成膜

• 真空镀膜：光学镀膜、溅射镀膜、蒸发镀膜

• 电子设备：电子器件制造

• 光学：光学元件镀膜

• 研究开发：实验室高真空系统、表面分析

• 大型系统：太空环境模拟舱、大型成膜系统

十一、结尾转化

高真空低温泵选型怕抽速算错、怕压缩机配不对、怕型号太多分不清？

ULVAC CRYO-U4H / U6H / U8H / U10H / U12H / U16 / U20P / U22WB / U30H 低温泵系列，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《CRYO-U系列选型确认表》及压缩机配置方案。

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