整套主机+CS01接收器

接收器尺寸图

一、产品概述

UV-LED-CS01 是日本 ORC 奥克原厂配套UV-LED-01 显示主机的分体式紫外接收器（受光传感器探头），整套仪器的感光采集核心部件，不可单独使用，必须搭配 UV-LED-01 指示灯主机才能完成照度、曝光能量检测。专门匹配半导体 365nm UV-LED 步进曝光机，用于密闭腔体内部狭小空间的紫外光采集，分为两大细分型号：

1. UV-LED-CS01-365S：标准低量程探头，适配实验室小型 LED 光源

2. UV-LED-CS01-365H：高量程探头，半导体大功率曝光机（主流款）

二、核心硬件规格参数

1. 感光口径：φ1mm 微型受光孔，小感光面，*单点测量

2. 整机尺寸：20 (W)×30 (D)×10 (H) mm，薄迷你方块造型

3. 重量：仅 57g，轻巧无负重，可放入光刻机狭小腔体

4. 连接线缆：标准 1.5 米屏蔽信号线，可加长定制，抗车间电磁干扰

5. 安装结构：机身预留 M3 螺丝通孔，可固定在工装、载台、治具上在线监测

6. 适配波长：345~435nm UVA 波段，核心适配 365nm 半导体 LED 光源

7. 测量量程（搭配 365H）：辐照度 0.1mW/cm² ~ 20W/cm²；累积光量 0.1mJ/cm² ~ 9999J/cm²

8. 测量精度：对比 ORC 标准紫外源误差≤±1.5%，单支独立原厂校准

9. 工作温度：0~60℃，适配无尘车间、产线高温腔体环境

三、五大核心产品优势

1. 小型薄机身，适配光刻机密闭内腔检测

仅 10mm 厚度微型探头，可伸入 PPS-8200/8300/8500 步进曝光机腔体内部，直接放置晶圆载板点位采集真实光照数据，无需停机拆机，大幅缩短产线点检工时。

2. UV-LED 专属平坦光谱响应，测量无偏差

原厂光学滤镜专为窄带 LED 光谱调校，区别于传统汞灯探头，365nm 波段响应曲线平直，不会出现读数虚高、失真问题，匹配 ORC 全系 LUV-M 系列曝光光源。

3. 分体式分离设计，人机分区操作

接收器放入设备内部感光，UV-LED-01 主机留在设备外部手持读数，隔绝腔体高温、紫外辐射，保护操作人员，同时不影响设备正常运转。

4. 支持固定在线安装，适配自动化产线

探头带 M3 安装孔，可*固定在曝光机载台、流水线工装，搭配主机 RS232 数据输出，对接工厂 PLC 系统实现 24 小时在线光源监测。

5. 可溯源计量校准，满足半导体审厂标准

每支接收器出厂附带独立波长校准证书，测量数据可溯源日本*计量标准，产线品质管控、设备验收、客户稽核均可直接使用。

四、主要应用场景

1. 半导体*封装（核心）配套 ORC PPS 系列晶圆 / 面板步进光刻机，定期检测 365nm 曝光光源照度衰减、板面均匀度，管控 RDL、微凸块光刻工艺良率。

2. UV 固化产线品质巡检FPC 柔性板、摄像头模组、芯片底部填充胶 UV 固化设备点检，监控 LED 光源老化衰减。

3. 实验室研发测试光刻胶、光敏材料配方评估，小型 UV 光源新品照度能量测试。

4. 设备出厂验收 / 年度校准新曝光机光源验收、车间设备年度点检、UV 光源更换后校准。

五、整套仪器搭配说明

完整检测套装 = UV-LED-01（指示灯显示主机） + UV-LED-CS01（接收器探头，365S/365H 二选一）

• 365S：小型低功率 LED、桌面实验室设备选用

• 365H：大功率面光源、面板级 FOPLP 光刻机、工业量产产线标配