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深圳京都玉崎推出FLUORO 福乐真空吸笔F003-Z-03-3F

发布时间:2026/07/09 19:28:24 发布厂商:深圳市京都玉崎电子有限公司 >> 进入该公司展台

FLUORO 福乐 Z 系列直式固定接头防酸真空吸笔,专门适配半导体 6 寸硅晶圆湿法蚀刻、酸碱药液浸泡、化学清洗等强腐蚀制程,全铁氟龙笔身搭配刚性直式无活动接头,搭配三类差异化材质吸笔头,兼顾耐化学腐蚀、定点作业稳定性与无尘防静电性能,是固定工位批量转运 6 寸晶圆的拾取工具。

笔身整体采用铁氟龙一体成型,该材料化学惰性极强,可长期耐受强酸、强碱、各类有机蚀刻溶剂侵蚀,长期接触化学药液不会出现溶胀、开裂、离子析出等问题,从源头避免杂质附着污染晶圆表面,完全满足百级化学无尘车间的洁净管控标准。产品采用直式固定接头结构,摒弃球状旋转活动转轴,整体结构紧实刚性更强,流水线长时间连续作业不会松动偏移,吸附承载稳定性突出,适配药液槽定点取料、设备侧边固定工位等无需多角度翻转晶片的作业场景,握持操作简单省力,有效降低人工长时间操作的疲劳感。

产品线提供三种吸笔头材质,可根据产线工艺需求灵活选配。PCTFE 吸头耐化学性能均衡,采购成本适中,适配常规酸碱粗清洗工序;PEEK 吸头兼具防静电、耐高温、低离子析出优势,适合光刻前高精度晶圆转运环节;Vespel (R) 高性能吸头耐磨、热稳定表现优异,能够支撑产线高频次不间断连续取片,适配高端芯片量产车间。阀门分为 NC 常闭、NO 常开、NO+SW 带手动开关常开三类,F001-Z、F002-Z、F003-Z 三款笔身分别对应不同阀门控制逻辑,可匹配市面绝大多数真空发生器供气回路,适配各类产线真空控制方案。

产品采用分体模块化设计,笔身与吸笔头支持分开独立订购,无需成套采购整支吸笔,吸头磨损损耗后可单独替换,有效降低企业长期耗材采购成本;同型号笔身通用 03 系列全部规格吸头,配件互换性强,简化工厂库存备货管理压力。

本系列 FLUORO 福乐防酸真空吸笔由京都玉崎自有仓储现货储备,不属于代理分销货源,全规格型号常备库存,可快速承接半导体湿法产线批量采购订单。我们可结合客户药液成分、工位布局、真空设备参数提供专属选型方案,支持寄送样品在酸碱产线现场实测耐腐蚀性能。产品无任何外露金属构件,杜绝金属腐蚀、金属离子污染晶圆的隐患,长期使用吸力稳定,能够显著减少湿法工序晶圆划伤、腐蚀报废等不良问题,提升半导体车间整体生产良率。

产品型号阀门种类吸笔头材质配套笔身型号配套吸笔头型号
F001-Z-03-3FNC(常闭)PCTFEF001-Z(附带 110 配件)03-3F
F001-Z-03-PKNC(常闭)PEEKF001-Z(附带 110 配件)03-PK
F001-Z-03-VPNC(常闭)Vespel(R)F001-Z(附带 110 配件)03-VP
F002-Z-03-3FNO(常开)PCTFEF002-Z(附带 110 配件)03-3F
F002-Z-03-PKNO(常开)PEEKF002-Z(附带 110 配件)03-PK
F002-Z-03-VPNO(常开)Vespel(R)F002-Z(附带 110 配件)03-VP
F003-Z-03-3FNO+SW(带开关常开)PCTFEF003-Z(附带 110 配件)03-3F
F003-Z-03-PKNO+SW(带开关常开)PEEKF003-Z(附带 110 配件)03-PK
F003-Z-03-VPNO+SW(带开关常开)Vespel(R)F003-Z(附带 110 配件)03-VP








FLUORO 福乐
真空吸笔
F003-Z-03-3F
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