尺寸:10–50
材料:SUS304
日本NFK南国工业(南国フレキ工業)V-KF-90EL 属于 ISO-KF(NW/QF)标准90°弯头真空管件(KF 90° Elbow / Right-angle Bend with KF Flanges),是NFK真空配管产品线中专为真空系统配管需改变走向(垂直或水平转折)、避开设备凸出物、适配腔体不同方位接口及缩减安装空间设计的刚性转向组件。V-KF-90EL与V-KF-S(KF柔性软管)、V-KF-TE(KF三通)、V-KF-B(KF盲板)、V-KF-CL(KF大小头)等同属NFK真空管件家族,尺寸与密封标准完全兼容ISO 2861,可与任意ISO-KF法兰软管或硬管直接对接。
结构与材质:本体为SUS304无缝钢管或板金压制焊接成90°弯头(Equal Elbow——两端口同口径;Reducing Elbow——可订制异径但少见,通常用V-KF-CL+90EL组合实现),内表面经清洗钝化处理(高纯型可选内壁电解抛光Ra≤0.8μm,用于半导体前道UHV系统);两端口端面TIG自动焊接ISO-KF标准法兰(KF10/KF16/KF25/KF40/KF50,对应公称尺寸10~50),法兰材质SCS13(SUS304)或SCS16(SUS316L),密封面为精密加工刀口(Knife Edge);标配需另配KF定心环(Center Ring/O-ring Holder)+FKM(Viton) O型圈(标准-15~+150℃)或硅橡胶/金属密封圈(高温/高真空型-40~+200/450℃)+铝/不锈钢卡箍。弯头内腔无阻挡,中心至端面距离(Center-to-Face)依ISO-KF弯头标准——通常取短管长+弯曲半径R(常见R=1.0×~1.5×DN,小口径KF10/KF16取短直段为主),无挠性位移功能,属刚性真空管件。
规格参数:公称口径KF10(DN10)/KF16/KF25/KF40/KF50(尺寸范围10~50),等径90°弯头为主(两端口径一致);外形中心至法兰面距依样本——例KF25 90EL中心高≈35~45mm、KF40≈50~60mm、KF50≈60~70mm(各厂微量差异但ISO兼容);使用温度依所配密封件——FKM -15~+150℃、Silicone -40~+200℃、金属密封 -40~+450℃(短时烘烤除气);适用为高真空至低真空气体输送与流向改变,氦泄漏率经焊接及机加工面保证≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s(与系统其余KF连接同级),耐压至大气压(真空组件不承正压工艺压力)。流导受弯头曲率影响,分子流态下较直管略降但KF小口径系统通常可接受。
性能特点与用途:V-KF-90EL以全SUS304/316L全焊结构具零泄漏、耐烘烤、无老化、快拆可复用、ISO-KF跨互换特性,广泛用于真空镀膜/PECVD/CVD设备腔体相邻不同方位口连接(如垂直抽气口转水平主抽管)、分子泵/罗茨泵进出口与前后级管路走向调整、真空规管/阀门安装位需垂直或水平折转以避干涉、分析仪器气路采样点90°转向、科研真空系统搭建时机架内紧凑配管布局。安装时KF卡箍用扳手适度锁紧(铝卡箍勿过扭矩致变形或开裂),首次抽真空建议按规程烘烤除气(依密封材料),弯头较重时建议单独设支架支承(勿让KF软管承受弯头重力矩,尤其大口径KF40/KF50)。
V-KF-90EL以NFK日本制精密TIG焊接/压制成形工艺、ISO-KF标准尺寸兼容性及可选电解抛光内型,成为真空工艺系统中"高真空管路90°转向+空间紧凑配管+接口方位适配"的基础刚性管件,与V-KF-S/V-KF-NP/V-KF-L/V-KF-CR(KF软管系列)、V-KF-B(KF盲板)、V-KF-TE/V-KF-RTE(KF三通)、V-KF-CL(KF大小头)、NK-2300V(JIS真空法兰软管)形成真空配管模块完整配套。
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