日本NFK南国工业(南国フレキ工業)NK-2300V 属于 JIS标准真空法兰式(VG-VF / VF-VF)不锈钢金属柔性软管(Vacuum Flexible Hose with JIS Vacuum Flange),是NFK专为高真空/低真空系统、真空泵组与腔体间的柔性过渡连接开发的型号,采用CLT(柔性)波纹管设计,解决真空管路中设备振动传递、热胀冷缩及安装对中误差问题,同时保持极低氦泄漏率。
结构与材质:挠性元件为SUS304或SUS316L柔性(CLT型)环形不锈钢波纹管——壁薄波距小、弯曲刚度极低,易实现小半径弯曲且不产生过大反弹力;外层通常包覆SUS304不锈钢丝编织网套(可选)以防意外机械损伤及提高抗外压能力(真空工况主要靠内负压,网套主要起保护作用);两端通过TIG自动焊接与JIS VG固定法兰(Fixed Flange)及VF活套法兰(Loose Flange)——即VG-VF组合或VF-VF组合,法兰材质SCS13(SUS304)或SCS16(SUS316L),密封采用金属刀口+无氧铜垫圈(CF型高真空)或氟橡胶O型圈(VF型一般真空/低真空,依子型),全组件经氦质谱检漏合格(≤1×10⁻⁹Torr·L/s或≤1.33×10⁻¹⁰Pa·m³/s)后出厂。
规格参数:公称口径10A~100A(DN10~DN100),100A以上可特别订制;标准长度200mm~3,000mm(可依配管定制);工作压力高真空(FV/Foreline Vacuum)~*0.1MPa(正压上限),使用温度-15~+150℃(标准FKM/O型圈密封;铜垫金属密封可至+200~+450℃短时);适用流体为干燥空气、N₂、Ar等不腐蚀不锈钢的气体(含有机溶剂蒸气,忌含卤素/强酸冷凝液长期接触FKM)。允许轴向位移约±(5%~8%)×有效长度,可吸收横向偏移与角向不对中,严禁承受扭转力矩(真空法兰已设计为松套对位),不可用于吸收扭转变形。
性能特点与用途:CLT柔波纹管使NK-2300V在真空系统狭小空间内容易弯曲且反作用力小,全焊接无垫片(金属密封型)或仅法兰面有O型圈,泄漏率极低,广泛用于真空镀膜/溅射设备泵组与腔体柔性过渡、工业真空炉/冻干机真空管路隔振、精细化工负压精馏/溶剂回收装置真空配管、半导体前道湿制程真空支管、科研大型真空系统搭建。安装时VF活套法兰旋转对齐螺栓孔,螺栓对角分次拧紧至规定扭矩(铜垫需达屈服密封扭矩),邻近设适当固定/导向支架限制异常拉扯,首次抽真空建议按规程进行烘烤除气(依密封材料)。
NK-2300V以NFK日本制CLT柔波纹管TIG全熔焊工艺、JIS VG-VF真空法兰适配及高真空氦检漏保证,成为真空工艺系统中"低泄漏+隔振+位移补偿+易对位"的关键柔性元件,与通用工业法兰软管(NK-1300/NK-2500)形成真空区隔。
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