日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I63+MS-PC
日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I63+MS-PC
伺服直驱无减速齿轮，无回程间隙，小开度进气线性稳定，设定档位后阀位自锁不漂移
90° 全行程均分 100 档（00 全关、99 全开），机械档位锁止，量产工艺开度重复精度高
阀内无裸露摩擦件、低发尘，符合无尘车间洁净规范；任意方位均可安装
断电电磁抱闸锁止当前阀位，避免腔体瞬间泄压损坏工件
LEVEL 二位拨码：00~99 设定目标开度；
OPEN 键：一键全开；MOVE 键：执行设定开度；
指示灯：READY（绿灯，电源就绪）、MOVE（橙灯，阀门动作）、OPEN/CLOSE（全开 / 全关状态指示）
输入：8 位二进制编码点位（1/2/4/8/16/32/64/128）远程设定档位 + 远程 OPEN、MOVE 无源开关信号
输出：就绪、运行、全开、全关四路无源触点反馈信号
供电：DC24V工业直流供电
光学镀膜、真空蒸镀设备：分段缓慢破真空，防止膜层起泡、针孔不良
锂电池真空注液、电芯脱泡：梯度泄压，规避电解液飞溅
半导体 PVD/CVD/ 等离子腔体：工艺气体*配比、腔体精密稳压
科研真空炉、氦检检漏设备：阶梯升压、精密控压调试
| 成套型号 | 控制方式 | 配套控制器 | 适用工况 |
|---|---|---|---|
| BAZ-I63+MS-PC | 00~99 数字定点档位 | MS-PC | 固定分段进气、重复性量产工艺 |
| BAR-I63+MS-VP | 0~10V 模拟无级连续调压 | MS-VP | 动态闭环稳压、连续无极调压 |
开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置
概述
■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。
■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。
■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。
■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。
地理位置
| 控制器型号 | MS-PC |
|---|---|
| 适用的开口规范阀门类型 | 巴兹加兹 |
| 面板显示 | 4个LED灯（准备/移动/开/关闭） |
| 面板操作 | 电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮 |
| 外部输入输出 | 开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN |
| 外部输入输出输入/输出 | 准备，移动，打开，关闭 |
| 输入电源 | 电压：DC24V±5% 功耗：*95W |
| 参数重写*1 | 数据设置软件 MEXE02（东方马达） |
| 尺寸（W×D×H） | 110毫米×130毫米×141毫米 |
| 质量 | 1公斤 |
| 配件 | 支架 |
| 有线电视（单独出售）*2 |
电机电缆 |
※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。
※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。
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