EBARA 日本荏原 EV-X300N 干式螺杆真空泵全产品详情
一、产品定位
EV-X 是荏原
新一代中负荷紧凑型无油干式真空泵，替代老款 EV-M/EV-S 系列，主打
小型化、节能、一机多用、耐半导体制程腐蚀，专为半导体、光伏、面板镀膜严苛工况开发，符合 SEMI-S2 工业规范，全系列日本原装进口。
结构形式：多级非接触式螺杆复合转子、全干式无油润滑。
二、全系列主力型号核心参数（50/60Hz 通用）
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型号
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标称抽速
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极限真空
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主电机功率
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冷却方式
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进气法兰
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整机重量
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EV-X30N
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3000L/min（180m³/h）
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≤0.1Pa
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2.2kW
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全风冷
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DN40
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72kg
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EV-X100N
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10000L/min（600m³/h）
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≤0.1~0.5Pa
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4.0kW
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全风冷
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DN50
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128kg
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EV-X200N
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20000L/min（1200m³/h）
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≤0.2~0.5Pa
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7.5kW
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风冷 / 水冷可选
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DN65
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215kg
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EV-X300N
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30000L/min（1800m³/h）
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≤0.5Pa
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11kW
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标配水冷
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DN80
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320kg
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备注：N = 标准耐腐蚀标配机型，另有 CR 耐强酸氟化气体定制款
三、五大核心产品优势
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*小型化，占地缩减 30%~38%
同抽速体积远小于 EV-S/EV-M，Subfab 机房密集排布优势明显，机台内嵌安装友好。
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IE5 高效电机，节能 25%~50%
空载低真空自动降功率运行，极限真空待机功耗仅 0.9~1.5kW，大幅降低工厂电费；50/60Hz 自适应变频，出口 / 国内通用电压 3φ200~220V。
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全机温控防凝设计，适配中重腐蚀制程
泵体分段恒温伴热，抑制 SiO₂、有机副产物凝结结块；标准泵腔 316L 不锈钢，可选镍基防腐内衬（HF、Cl₂、F 系蚀刻气体）。
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模块化集成、易维护
整机零件精简，常规保养仅更换进气滤芯、排气滤芯，保养周期≥8000h，备品通用性强、维保成本低。
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智能电控系统
自带一体式控制面板：温度、电流、过载、缺水、堵转故障报警，标配无源触点，可直连设备 PLC 远程启停联锁。
四、版本选配区分
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标准版 EV-X□□N（常规）：全风冷、316L 泵体，适配 PVD 溅射、Loadlock 预抽、灰化、普通 CVD
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CR 耐腐蚀定制版：内壁耐氟 / 氯强酸涂层，用于干法蚀刻、HDP-CVD、离子注入尾气
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HT 高温款：全泵体加强伴热，高粉尘、高溶剂冷凝工况
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水冷款（X200/X300 选配）：大功率连续满载、高温环境使用，散热更稳定
五、主流应用行业
1. 半导体晶圆（主力场景）
干法蚀刻、PECVD/HDP-CVD、溅射 PVD、离子注入、灰化除胶、Loadlock 腔体预抽、检测设备 SEM/XPS 前级真空
2. 光伏 & LED
电池片 PECVD 镀膜、干法边缘蚀刻、MiniLED 溅射腔体抽气
3.FPD 面板
OLED/LCD 蒸镀、小型腔体预抽真空
4. 通用工业
真空镀膜、冻干、脱泡、实验室科研真空设备
六、采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
京公网安备 11010802023672号
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