146i型102488-02 10L 质量流量计

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一、基本信息

• 部件号：102488-02（10 SLPM，零气 MFC）
• 描述：Mass Flow Controller, 10 SLPM, Zero Air
• 适用机型：146i 全系列（标准配置 E 型：10 SLPM）
• 功能：零空气 / 稀释气的精密测量与闭环控制，稳定提供 0–10 SLPM 流量，用于标气稀释、O₃发生、GPT 反应气配比。

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二、技术参数（10 SLPM MFC）

• 量程：0–10 SLPM（标准升 / 分钟，25℃/1atm）
• 精度：±2% 读数或 ±1% FS（取较小值，20–* FS）
• 线性度：±0.5% FS
• 重复性：±0.2% FS
• 响应时间：≤60 秒（达 99% 目标流量）
• 工作压力：0–30 psig（ 20–25 psig）
• 介质：零空气、氮气、O₂（耐少量 O₃）
• 接口：1/8" 卡套（316L 不锈钢）
• 供电：24 VDC / ±15 VDC（模拟信号）
• 材质：316L 不锈钢阀体，Viton 密封

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三、在 146i 中的作用

1. 稀释气主控：控制零空气流量（0–10 SLPM），与标气（0–100 SCCM）按比例混合，输出*浓度校准气。
2. 臭氧发生气源：稳定供给 6 SLPM 零空气至臭氧发生器（102590-00），生成 10 ppb–1 ppm O₃。
3. GPT 反应气：为 NO/O₃ 反应腔（103207-00）提供恒定载气，保证 NO₂ 校准精度。
4. 流量闭环：实时反馈流量信号至主板，自动调节电磁阀开度，抵消压力波动与温度漂移。

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四、常见故障

• 流量偏低 / 不稳：传感器污染、零点漂移、管路微漏
• 报 Flow Fault / MFC Error：线圈故障、驱动板损坏、气路堵塞
• 稀释浓度偏差大：MFC 校准失效、线性漂移
• O₃ 浓度上不去：零气流量不足（<6 SLPM）

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五、互换与替代

• 同系列替代：
  • 102488-01：5 SLPM（D 型，小流量）
  • 102488-02：10 SLPM（E 型，标准）
  • 102488-03：20 SLPM（F 型，大流量）
• 电气兼容：同接口 / 同协议，可直接替换（需软件重新校准）
• 不可互换：标气 MFC（8092/8093，0–100 SCCM）量程与气路不同

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六、关联备件清单（采购核对）